北京北方华创微电子装备有限公司王笑非获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其密封连接组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427463U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422761691.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型半导体工艺设备及其密封连接组件是由王笑非;宋新丰;李洪利设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及其密封连接组件在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体工艺设备及其密封连接组件，属于半导体技术领域。密封连接组件包括第一底板、第二底板和侧板，第一底板用于密封连接反应腔室，侧板用于密封连接装卸料腔室的内壁，第一底板与侧板弯折连接，且第一底板设有连通口，腔室口通过连通口与装卸料腔室的内部空间连通，第二底板位于第一底板背向侧板的一侧，且第二底板分别与第一底板和侧板连接。半导体工艺设备包括反应腔室、装卸料腔室和上述的密封连接组件，反应腔室与装卸料腔室通过密封连接组件实现密封连接。如此设置，第二底板与侧板形成的空间较大，排气管路可设置于第二底板与侧板形成的空间内，方便安装、维修和保养排气管路，避免密封连接组件影响排气管路的设置。
本实用新型半导体工艺设备及其密封连接组件在权利要求书中公布了：1.一种密封连接组件，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括反应腔室20和装卸料腔室30，所述反应腔室20设有腔室口，所述腔室口与所述装卸料腔室30通过所述密封连接组件10实现密封连接，其特征在于，所述密封连接组件10包括第一底板100、第二底板200和侧板300，所述第一底板100用于密封连接所述反应腔室20，所述侧板300用于密封连接所述装卸料腔室30的内壁，所述第一底板100与所述侧板300弯折连接，且所述第一底板100设有连通口100a，所述腔室口通过所述连通口100a与所述装卸料腔室30的内部空间连通， 所述第二底板200位于所述第一底板100背向所述侧板300的一侧，且所述第二底板200分别与所述第一底板100和所述侧板300连接。
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