北京北方华创微电子装备有限公司于斌获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利承载装置和半导体工艺腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427460U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422654724.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型承载装置和半导体工艺腔室是由于斌;叶华;史全宇设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本承载装置和半导体工艺腔室在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种承载装置和半导体工艺腔室，其中，所述承载装置包括：直线驱动组件、支架、套体、支撑轴、基座、加热器、射频电极、旋转导电组件、磁力耦合器和旋转驱动组件；直线驱动组件与支架驱动连接，套体与支架连接，支撑轴旋转支撑于套体内，基座支撑于支撑轴，直线驱动组件用于驱动基座升降；加热器和射频电极分别嵌设于基座内，加热器经旋转导电组件与加热电源连接，射频电极经旋转导电组件与射频电源连接；旋转驱动组件用于经磁力耦合器驱动支撑轴转动。
本实用新型承载装置和半导体工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种承载装置10，应用于半导体工艺腔室1，其特征在于，所述承载装置10包括：直线驱动组件11、支架111、套体112、支撑轴121、基座122、加热器13、射频电极14、旋转导电组件15、磁力耦合器161和旋转驱动组件162； 所述直线驱动组件11与所述支架111驱动连接，所述套体112与所述支架111连接，所述支撑轴121旋转支撑于所述套体112内，所述基座122支撑于所述支撑轴121，所述直线驱动组件11用于驱动所述基座122升降； 所述加热器13和所述射频电极14分别嵌设于所述基座122内，所述加热器13经所述旋转导电组件15与加热电源21连接，所述射频电极14经所述旋转导电组件15与射频电源22连接； 所述旋转驱动组件162用于经所述磁力耦合器161驱动所述支撑轴121转动。
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