友达光电(昆山)有限公司;友达光电股份有限公司刘希光获国家专利权
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龙图腾网获悉友达光电(昆山)有限公司;友达光电股份有限公司申请的专利蚀刻装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427457U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422300753.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型蚀刻装置是由刘希光;李小雷;孙鲲设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本蚀刻装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种蚀刻装置，其包括第一腔室及止挡组件。第一腔室具有第一端部，第一腔室设置有沿第一方向排列并沿第二方向延伸的多个第一传送轴，第一方向与第二方向垂直，多个第一传送轴用于沿第一方向朝向第一端部传送板状元件；止挡组件邻近第一端部设置于第一腔室内，止挡组件具有原始位置及后退位置，后退位置于第一方向上与原始位置具有预设距离，止挡组件具有第一斜面；其中，多个第一传送轴传送板状元件未到达第一端部时，止挡组件位于原始位置，板状元件到达第一端部而碰触止挡组件的第一斜面，止挡组件移动至后退位置。本实用新型可确保板状元件的表面清洁，避免影响后续镀膜品质。
本实用新型蚀刻装置在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻装置，其特征在于包括， 第一腔室，具有第一端部，该第一腔室设置有沿第一方向排列并沿第二方向延伸的多个第一传送轴，该第一方向与该第二方向垂直，该多个第一传送轴用于沿该第一方向朝向该第一端部传送板状元件；以及 止挡组件，邻近该第一端部设置于该第一腔室内，该止挡组件具有原始位置及后退位置，该后退位置于该第一方向上与该原始位置具有预设距离，该止挡组件具有第一斜面；该止挡组件包含止挡柱，该止挡柱具有相对的第一端、第二端及位于该第一端与该第二端之间的腰部，该第一端具有第一直径d1，该第二端具有第二直径d2，该腰部具有第三直径d3，其中，d3＜d1，d3＜d2； 其中，该多个第一传送轴传送该板状元件未到达该第一端部时，该止挡组件位于该原始位置；当该板状元件到达该第一端部碰触该止挡组件的该第一斜面时，该止挡组件顺应该板状元件的碰触而移动至该后退位置。
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