江苏鲁汶仪器股份有限公司程实然获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427452U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422903095.X，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种刻蚀设备是由程实然;张风林;邹志文;张俊浩;衡科技;崔虎山;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种刻蚀设备，涉及半导体加工设备领域，包括：载片台，载片台的上表面具有第一区域和围绕第一区域的第二区域；第一区域用于放置待刻蚀件；腔盖结构，腔盖结构能够盖合在载片台的上方，与载片台形成密封的刻蚀腔体；喷嘴结构，喷嘴结构安装在第二区域，用于向刻蚀腔体内喷射刻蚀气体；抽气结构，抽气结构安装在腔盖结构的上表面上，与刻蚀腔体连通，用于排出刻蚀腔体中的刻蚀废气，抽气结构延伸至刻蚀腔体内的抽气管能够相对于待刻蚀件调节排气高度。本申请可以及时的将刻蚀过程中产生的刻蚀废气排出到刻蚀腔体外部，可以保证对待刻蚀件的刻蚀均匀性；由于可以实现对待刻蚀件的均匀刻蚀，可以更加准确的反映待刻蚀件的金属沾污情况。
本实用新型一种刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括： 载片台，所述载片台的上表面具有第一区域和围绕第一区域的第二区域；所述第一区域用于放置待刻蚀件； 腔盖结构，所述腔盖结构能够盖合在所述载片台的上方，与所述载片台形成密封的刻蚀腔体； 喷嘴结构，所述喷嘴结构安装在所述第二区域，用于向所述刻蚀腔体内喷射刻蚀气体； 抽气结构，所述抽气结构安装在所述腔盖结构的上表面上，与所述刻蚀腔体连通，用于排出所述刻蚀腔体中的刻蚀废气；其中，所述抽气结构延伸至所述刻蚀腔体内的抽气管能够相对于所述待刻蚀件调节排气高度。
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