浙江晶鸿精密机械制造有限公司张俊获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶鸿精密机械制造有限公司申请的专利一种质量流量控制器校准系统及校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427044U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422618418.0，技术领域涉及：G05B23/02；该实用新型一种质量流量控制器校准系统及校准装置是由张俊;朱平安;苏宏凯设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种质量流量控制器校准系统及校准装置在说明书摘要公布了：本申请涉及质量流量控制器检测技术领域，公开了一种质量流量控制器校准系统及校准装置，包括：气源及检测流路；检测流路与气源连通，检测流路包括：检测工位，检测工位包括至少一个MFC接口，MFC接口用于与待检测MFC对应连接；校准支路位于检测流路下游，校准支路包括至少一流量检测件，用于检测流经检测支路后的流体流量；模拟支路位于校准支路下游，模拟支路包括一模拟件，模拟件用于控制检测流路中的状态；解决了质量流量控制器对气体流量的控制会出现偏差的技术问题，达到消除质量流量控制器对气体流量控制偏差，提升光伏或半导体产品质量的技术效果。
本实用新型一种质量流量控制器校准系统及校准装置在权利要求书中公布了：1.一种质量流量控制器校准系统，其特征在于，包括： 气源100； 检测流路200，所述检测流路200与所述气源100连通，所述检测流路200包括： 检测支路210，所述检测支路210包括检测工位211，所述检测工位211包括至少一个MFC接口，所述MFC接口用于与待检测MFC对应连接； 校准支路220，所述校准支路220位于所述检测支路210下游，所述校准支路220与所述检测支路210连通，所述校准支路220包括至少一流量检测件221，用于检测流经所述检测支路210后的流体流量；以及 模拟支路230，所述模拟支路230位于所述校准支路220下游，所述模拟支路230与所述校准支路220连通，所述模拟支路230包括至少一模拟件231，所述模拟件231用于模拟检测流路200的实际加工状态。
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