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龙图腾网获悉苏州中特微电子科技有限公司申请的专利一种接近式光刻机的调平装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427000U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422367800.9，技术领域涉及：G03F9/00；该实用新型一种接近式光刻机的调平装置是由傅舰艇;林世超;邹林设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种接近式光刻机的调平装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种接近式光刻机的调平装置，球碗组件包括具有碗型腔的球碗座和与碗型腔相适配的球头；碗型腔的底部设有凹腔；球头与碗型腔之间具有上下相互接触配合并封闭凹腔的配合状态，以及具有上下相互远离的分离状态；晶片载台和升降座的两者中，一者上设置球碗座，另一者上设置球头；抽真空装置用于在配合状态对凹腔抽真空；伸缩气缸用于驱使晶片载台相对升降座向上移动，以使得球碗座和球头形成分离状态；升降驱动机构用于驱使升降座上下移动，并依次途径调平位置、定位位置和间隙位置。本实用新型能够调节掩膜板和晶片的平行度，以提高曝光精度和套刻精度，且调平精度高，调平过程快速稳定，有效满足实际生产需求。

本实用新型一种接近式光刻机的调平装置在权利要求书中公布了：1.一种接近式光刻机的调平装置，包括掩膜板、晶片载台、升降座、球碗组件、伸缩气缸、升降驱动机构、抽真空装置；其特征在于： 所述晶片载台上下活动设置于掩膜板下方； 所述升降座上下活动设置于晶片载台的下方； 所述球碗组件包括具有碗型腔的球碗座和与碗型腔相适配的球头；所述碗型腔的底部设有凹腔；所述球头与碗型腔之间具有上下相互密封配合并封闭凹腔的配合状态，以及具有上下相互远离的分离状态；所述晶片载台和升降座的两者中，一者上设置所述球碗座，另一者上设置所述球头； 所述抽真空装置与凹腔相连通，用于在所述配合状态对凹腔抽真空； 至少三组所述伸缩气缸设置于晶片载台和升降座之间，用于驱使晶片载台相对升降座向上移动，以使得球碗座和球头形成所述分离状态； 所述升降驱动机构用于驱使升降座上下移动，并依次途径调平位置、定位位置和间隙位置； 在所述调平位置，所述晶片载台与掩膜板上下抵接，以及所述碗型腔和球头处于所述分离状态； 在所述定位位置，所述晶片载台与掩膜板上下抵接，以及所述球头和球碗座之间形成所述配合状态； 在所述间隙位置，所述晶片载台远离掩膜板。

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