泰州市子拓光电科技有限公司窦海斌获国家专利权
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龙图腾网获悉泰州市子拓光电科技有限公司申请的专利一种具有清理结构的高精度光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223426998U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423093066.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种具有清理结构的高精度光刻机是由窦海斌;周跃设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有清理结构的高精度光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻机领域，具体是一种具有清理结构的高精度光刻机。本实用新型包括光刻机主体，所述光刻机主体下端设置有工作台，所述工作台内部具有一容置空腔；转运构件，所述转运构件可拆卸的布设于所述工作台上端，所述转运构件底部对称设置有支撑板；清理构件，所述清理构件可拆卸的布设于所述转运构件上端，所述清理构件设置有一第二支架；收集构件，所述收集构件设置有一收集斗。该一种具有清理结构的高精度光刻机，通过将清理构件安装在转运构件上端，在第三液压气缸启动后，带动安装板一侧的第二电机上下移动，在第二电机启动后，从而带动刷盘转动，使得清理构件可以对转运构件上端的碎屑进行清扫，无需人工对碎屑进行清理。
本实用新型一种具有清理结构的高精度光刻机在权利要求书中公布了：1.一种具有清理结构的高精度光刻机，其特征在于：其包括 光刻机主体1，所述光刻机主体1下端设置有工作台11，所述工作台11内部具有一容置空腔； 调节构件2，所述调节构件2可拆卸的布设于所述工作台11上端，所述调节构件2设置有一第一支架21； 转运构件3，所述转运构件3可拆卸的布设于所述工作台11上端，所述转运构件3底部对称设置有支撑板31； 清理构件4，所述清理构件4可拆卸的布设于所述转运构件3上端，所述清理构件4设置有一第二支架41； 收集构件5，所述收集构件5设置有一收集斗51。
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