无锡富创得精密设备有限公司刘孟飞获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡富创得精密设备有限公司申请的专利一种掩膜板防尘暂存组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223426993U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422821538.0，技术领域涉及：G03F1/84；该实用新型一种掩膜板防尘暂存组件是由刘孟飞;郑青斌;宁坚;茅茂;曹金星;弓利军设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜板防尘暂存组件在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工设备，具体为一种掩膜板防尘暂存组件，包括暂存架体和若干水平固定在暂存架体上的暂存板；每个暂存板上活动安装有暂存支撑座，且固定安装有热感元件；所述暂存架体上安装有用于检测掩膜板存在的光感元件；所述暂存板的端面还开设有与外部气泵连接的吸尘气孔；本实用新型，整体采用模块化结构，合理利用空间，节省设备体积，减小安装难度；多层式的暂存板保证了掩膜板的暂存能力，并且每层配备对应热感元件与光感元件，可智能化获取掩膜板的放置情况与温度情况，避免板体错放漏放以及设备故障引起的不必要损失，提升半导体整体加工的效率与质量。
本实用新型一种掩膜板防尘暂存组件在权利要求书中公布了：1.一种掩膜板防尘暂存组件，其特征在于，包括暂存架体410和若干水平固定在暂存架体410上的暂存板420；每个暂存板420上活动安装有暂存支撑座430，且固定安装有热感元件440；所述暂存架体410上安装有用于检测掩膜板500存在的光感元件450；所述暂存板420的端面还开设有与外部气泵连接的吸尘气孔460； 当掩膜板500放置在暂存支撑座430上，热感元件440实时监测环境温度值，光感元件450检测是否放置准确，吸尘气孔460抽动空气，减少灰尘落附。
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