深圳市路维光电股份有限公司刘玉闯获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市路维光电股份有限公司申请的专利一种掩膜版用保护装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223426992U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422890479.2，技术领域涉及：G03F1/48；该实用新型一种掩膜版用保护装置是由刘玉闯;司继伟;杜武兵设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜版用保护装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种掩膜版用保护装置，涉及掩膜版技术领域，解决掩膜版在使用过程中，易出现掩膜版表面长霉点或光学膜表面发雾的现象，从而导致掩膜版透过率下降，导致在做曝光图形转移时形成的图案不准确甚至错误，造成批量报废技术问题；包括掩膜版和保护膜结构，所述保护膜结构固定在掩膜版具有图形区域的一侧，所述保护膜结构内侧设有吸附层，所述保护膜结构侧壁开设有排气通孔，所述排气通孔内设置有过滤结构，所述排气通孔外侧设置有单向排气阀；本实用新型可以有效避免外部环境中的有机气体与掩膜版或保护膜结构产生的SO2，NH3等物质反应结晶，避免了掩膜版表面长霉点或光学膜表面发雾的现象的产生，延长了掩膜版使用寿命。
本实用新型一种掩膜版用保护装置在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版用保护装置，其特征在于，包括掩膜版1和保护膜结构4，所述保护膜结构4固定在掩膜版1具有图形区域的一侧，所述保护膜结构4内侧设有吸附层5，所述保护膜结构4侧壁开设有排气通孔6，所述排气通孔6内设置有过滤结构，所述排气通孔6外侧设置有单向排气阀7。
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