无锡芯汉电子科技有限公司唐建成获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡芯汉电子科技有限公司申请的专利刻蚀机终点检测系统用自适应光纤传输器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223426890U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422701408.3，技术领域涉及：G02B6/36；该实用新型刻蚀机终点检测系统用自适应光纤传输器是由唐建成设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本刻蚀机终点检测系统用自适应光纤传输器在说明书摘要公布了：本实用新型提供的一种刻蚀机终点检测系统用自适应光纤传输器，涉及刻蚀机领域，包括光纤本体和两个间距调节组件；两个间距调节组件设置于光纤本体的两端；间距调节组件包括固定件、限位件和弹性件；固定件可滑动固定于光纤本体上；限位件固定于光纤本体的端部；固定件位于限位件的内侧；弹性件位于固定件和限位件之间；当固定件与终点检测系统相固定时，固定件挤压弹性件，弹性件推动限位件向透光介质窗移动。本实用新型能够解决现有技术在使用光纤在透光介质窗和光源检测模块之间传输光源时，若光纤与透光介质窗之间存在间隙，则会使光纤传递的光源无法被准确探测和聚焦，最终影响刻蚀效果的问题。
本实用新型刻蚀机终点检测系统用自适应光纤传输器在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀机终点检测系统用自适应光纤传输器，其特征在于，包括光纤本体和两个间距调节组件；两个所述间距调节组件分别设置于所述光纤本体的两端； 所述间距调节组件包括用于将所述光纤本体与终点检测系统进行固定的固定件、限位件和弹性件；若将所述光纤本体的一端与终点检测系统相固定，所述光纤本体的另一端与光源检测模块相固定，将所述光纤本体固定有终点检测系统或光源检测模块的一侧作为外侧，将所述光纤本体远离终点检测系统或光源检测模块的一侧作为内侧；所述固定件可滑动固定于所述光纤本体上；所述限位件固定于所述光纤本体的端部；所述固定件位于所述限位件的内侧；所述弹性件位于所述固定件和所述限位件之间； 当所述固定件与终点检测系统相固定时，所述固定件挤压所述弹性件，所述弹性件推动所述限位件向透光介质窗移动。
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