上海晶盟硅材料有限公司蔡爱军获国家专利权
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龙图腾网获悉上海晶盟硅材料有限公司申请的专利一种内晶圆表面颗粒检测设备的固态激光光源监控装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223426836U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422282430.9，技术领域涉及：G01R31/44；该实用新型一种内晶圆表面颗粒检测设备的固态激光光源监控装置是由蔡爱军;吴勇;成冲;顾广安;高璇设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种内晶圆表面颗粒检测设备的固态激光光源监控装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于固态激光光源监控技术领域，具体的说是一种内晶圆表面颗粒检测设备的固态激光光源监控装置，包括底板，所述底板顶部左侧从左到右依次固定安装有主站与从站，所述主站与所述从站串联在一起，所述主站的传感器与所述从站相连接，所述底板顶部右侧从左到右依次固定安装有激光控制器与并联采集器和通讯板，所述激光控制器与所述通讯板之间串接有并联采集器，所述并联采集器的接口用于连接采集功率与电流信号；本实用新型可以进行数据实时采集存储，且可追溯LaserCurrent状态是否稳定，同时数据上传FDC系统，可实现管控，进而使得该装置可以降低产品因光源不稳造成量测异常而引起的客诉风险。
本实用新型一种内晶圆表面颗粒检测设备的固态激光光源监控装置在权利要求书中公布了：1.一种内晶圆表面颗粒检测设备的固态激光光源监控装置，包括底板1； 其特征在于：所述底板1顶部左侧从左到右依次固定安装有主站2与从站3，所述主站2与所述从站3串联在一起，所述主站2的传感器与所述从站3相连接，所述底板1顶部右侧从左到右依次固定安装有激光控制器6与并联采集器5和通讯板4，所述激光控制器6与所述通讯板4之间串接有并联采集器5，所述并联采集器5的接口用于连接采集功率与电流信号。
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