日月光半导体制造股份有限公司林益生获国家专利权
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龙图腾网获悉日月光半导体制造股份有限公司申请的专利电性测试系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223426777U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422551758.6,技术领域涉及:G01R31/00;该实用新型电性测试系统是由林益生;曾佩玉;王陈肇设计研发完成,并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本电性测试系统在说明书摘要公布了:本实用新型提出了一种电性测试系统,包括:载板,所述载板用于放置待测基板;电性测试探针,设置于所述载板上方,用于测试所述待测基板的电性;激光扫描仪,设置于所述载板上方,用于获取所述待测基板的表面高度;其中,所述载板与所述电性测试探针之间的距离根据所述待测基板的表面高度调整。这样,通过激光扫描仪获取到的待测基板表面的高度信息,调整载板与电性测试探针之间的距离,一方面,可以避免电性测试探针与待测基板发生碰撞,防止探针或基板受损;另一方面,可以避免电性测试探针与待测基板接触不良的情况发生。
本实用新型电性测试系统在权利要求书中公布了:1.一种电性测试系统,其特征在于,所述系统包括: 载板,所述载板用于放置待测基板; 电性测试探针,设置于所述载板上方,用于测试所述待测基板的电性; 激光扫描仪,设置于所述载板上方,用于获取所述待测基板的表面高度; 其中,所述载板与所述电性测试探针之间的距离根据所述待测基板的表面高度调整。
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