日月新半导体(昆山)有限公司黄忠荣获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(昆山)有限公司申请的专利一种半导体电镀设备用漏液侦测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223426176U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423070615.X,技术领域涉及:G01M3/16;该实用新型一种半导体电镀设备用漏液侦测装置是由黄忠荣设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体电镀设备用漏液侦测装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体电镀技术领域,公开了一种半导体电镀设备用漏液侦测装置,包括检测组件和排水组件,所述检测组件包括有承漏盘,且承漏盘内设置有漏液传感器,并且承漏盘的上端设有电镀机,所述排水组件设于检测组件的下方,且排水组件包括有电动伸缩杆,并且电动伸缩杆的一端连接有第一连接块,同时第一连接块连接有第二连接块,且第二连接块的一端连接有连接板,并且连接板远离第二连接块的一侧连接有活塞,同时电动伸缩杆远离第一连接块的一端连接有第三连接块,且排水组件还包括有固定壳,使用改良底盘斜度方式,集中区域漏液以提高传感器侦测率。
本实用新型一种半导体电镀设备用漏液侦测装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体电镀设备用漏液侦测装置,其特征在于:包括检测组件1和排水组件2,所述检测组件1包括有承漏盘11,且承漏盘11内设置有漏液传感器12,并且承漏盘11的上端设有电镀机13,所述排水组件2设于检测组件1的下方,且排水组件2包括有电动伸缩杆21,并且电动伸缩杆21的一端连接有第一连接块22,同时第一连接块22连接有第二连接块23,且第二连接块23的一端连接有连接板24,并且连接板24远离第二连接块23的一侧连接有活塞26,同时电动伸缩杆21远离第一连接块22的一端连接有第三连接块25,且排水组件2还包括有固定壳27。
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