浙江百盛光电股份有限公司卜志超获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江百盛光电股份有限公司申请的专利一种晶圆产品尺寸测量仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223425927U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422673337.0，技术领域涉及：G01B11/00；该实用新型一种晶圆产品尺寸测量仪是由卜志超;程司军;马明阳;吴怡平;陈跃华;陈时兴设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆产品尺寸测量仪在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆产品尺寸测量仪，包括有大理石台面；转动座；悬臂；测量相机，所述测量相机具有四个；其中，所述转动座的转动部上设置有电动夹爪；所述电动夹爪上设置有三个夹指；所述夹指上连接有延伸杆；所述延伸杆一端纵向设置有限位杆。只需要将晶圆放置到支撑帽上直接快速的计算出晶圆的实际平面尺寸，更高精度要求可以旋转支撑帽来测量多个点位取平均值。通过相机缩小检测范围来提高测量精度的思路，通过对标片进行对标，通过两组相机实际的位移差来测量晶圆的实际尺寸。限位杆在外侧时，便于人工取放晶圆；限位杆在向内侧运动时，将晶圆对中的同时还完成了夹持。
本实用新型一种晶圆产品尺寸测量仪在权利要求书中公布了：1.一种晶圆产品尺寸测量仪，其特征在于：包括有 大理石台面，所述大理石台面设置在柜体的上端； 转动座，所述转动座设置在所述大理石台面上端； 悬臂，所述悬臂设置在所述大理石台面上方； 测量相机，所述测量相机具有四个，且分别设置在所述悬臂的下端； 其中，所述转动座的转动部上设置有电动夹爪；所述电动夹爪上至少设置有三个沿所述转动座径向滑动的夹指；所述夹指上可拆卸连接有延伸杆；所述延伸杆远离所述电动夹爪的一端纵向设置有限位杆。
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