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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种内径测量治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223425852U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422197454.4，技术领域涉及：G01B3/20；该实用新型一种内径测量治具是由李海波;喻润之;沈显青设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种内径测量治具在说明书摘要公布了：本申请属于半导体设备技术领域，提供一种内径测量治具，包括第一尺体、第二尺体和内壁抓脚，第一尺体包括第一外量爪和第一方向延伸的主卡尺，第一外量爪连接至主卡尺的一端，第二尺体包括游标尺和第二外量爪，游标尺卡持于主卡尺的外周能够沿第一方向滑动，第二外量爪连接至游标尺靠近第一外量爪的一端，内壁抓脚包括连接至第一外量爪的第一抓脚和连接至第二外量爪的第二抓脚，当第二外量爪靠近第一外量爪运动时，第二抓脚能够与第一抓脚接触，内壁抓脚具有弧形外侧面和平直外侧面，能够与晶盒内面接触对准，并使第一抓脚与第二抓脚的平直外侧面共面，进而实现了对晶盒内径的有效量测，更直观反映了晶盒内径尺寸变化，提高了测量精度和测量效率。

本实用新型一种内径测量治具在权利要求书中公布了：1.一种内径测量治具，其特征在于，包括第一尺体、第二尺体和内壁抓脚； 所述第一尺体包括主卡尺和第一外量爪，所述主卡尺沿第一方向延伸，并于表面设置有主尺刻度线，所述主卡尺具有沿所述第一方向相对设置的第一端和第二端，以及沿垂直于所述第一方向相对设置的第一侧和第二侧，所述第一外量爪连接至所述主卡尺的第一端，并位于所述主卡尺的第一侧； 所述第二尺体包括游标尺和第二外量爪，所述游标尺卡持于所述主卡尺的外周，并能够沿所述第一方向滑动，所述游标尺的表面设置有与所述主尺刻度线配合的游标刻度线，所述第二外量爪连接至所述游标尺靠近所述第一外量爪的一端，并位于所述主卡尺的第一侧； 所述内壁抓脚包括连接至所述第一外量爪的第一抓脚以及连接至所述第二外量爪的第二抓脚，当所述第二外量爪向靠近所述第一外量爪的方向运动时，所述第二抓脚能够与所述第一抓脚接触； 所述内壁抓脚为板状结构，以所述内壁抓脚板状结构的厚度方向为第二方向，所述第二方向垂直于所述第一方向，并垂直于所述主卡尺的第一侧与第二侧之间的连线； 沿所述第二方向正视所述内径测量治具，所述内壁抓脚具有沿所述第一方向相对设置且彼此连接的弧形外侧面和平直外侧面，并且当所述第一抓脚与所述第二抓脚接触时，所述第一抓脚的平直外侧面与所述第二抓脚的平直外侧面位于同一平面。

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