苏州智程半导体科技股份有限公司顾雪平获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州智程半导体科技股份有限公司申请的专利一种摆臂式晶圆干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223425625U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423159013.1，技术领域涉及：F26B11/02；该实用新型一种摆臂式晶圆干燥装置是由顾雪平;刘国强;戴文海设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种摆臂式晶圆干燥装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种摆臂式晶圆干燥装置，包括：干燥腔体，干燥腔体内装配摆动组件，摆动组件包括摆动座和摆臂组件，摆动座与干燥腔体转动连接；摆臂组件包括驱动装置和连接组件，驱动装置装配于干燥腔体的内壁并驱使连接组件升降并带动摆动座以与干燥腔体的转动连接点为轴摆动，摆动座的上表面可拆卸放置晶圆花篮。本实用新型用以解决现有晶圆干燥装置内处于静止状态的晶圆难以与干燥气体进行充分接触而导致干燥效果受到影响的问题。
本实用新型一种摆臂式晶圆干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种摆臂式晶圆干燥装置，其特征在于，包括：干燥腔体，所述干燥腔体内装配摆动组件，所述摆动组件包括摆动座和摆臂组件，所述摆动座与所述干燥腔体转动连接； 所述摆臂组件包括驱动装置和连接组件，所述驱动装置装配于干燥腔体的内壁并驱使所述连接组件升降并带动所述摆动座以与所述干燥腔体的转动连接点为轴摆动，所述摆动座的上表面可拆卸放置晶圆花篮。
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