北京北方华创微电子装备有限公司翟广龙获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体设备及其真空门阀获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223424667U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422896143.7，技术领域涉及：F16K3/02；该实用新型半导体设备及其真空门阀是由翟广龙;王炳元设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体设备及其真空门阀在说明书摘要公布了：本申请提供一种真空门阀，用于开启或关闭半导体设备的开口，包括密封板和缓冲机构，其中，密封板用于封闭密封所述半导体设备的开口；缓冲机构包括缓冲座和缓冲弹性件，缓冲座位于密封板和半导体设备之间，并通过缓冲连接件与半导体设备可移动地连接，缓冲座具有用于与半导体设备的开口相对应的过孔，缓冲弹性件位于缓冲座和半导体设备之间，用于支撑缓冲座贴合所述密封板。密封板带动缓冲座半导体设备的开口的过程中，缓冲座在缓冲弹性件的支撑下始终与密封板贴合。一方面减小了缓冲座的振动，减少了颗粒掉落和扬起，另一方面避免振动抖落的颗粒进入缓冲座和密封板之间，进而减少了半导体设备中的颗粒引入。
本实用新型半导体设备及其真空门阀在权利要求书中公布了：1.一种真空门阀，用于开启或关闭半导体设备的开口，其特征在于，包括密封板和缓冲机构，其中， 所述密封板用于封闭密封所述半导体设备的开口； 所述缓冲机构包括缓冲座和缓冲弹性件，所述缓冲座位于所述密封板和所述半导体设备之间，并通过缓冲连接件与所述半导体设备可移动地连接，所述缓冲座具有用于与所述半导体设备的开口相对应的过孔，所述缓冲弹性件位于所述缓冲座和所述半导体设备之间，用于支撑所述缓冲座贴合所述密封板。
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