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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利一种基于极化效应的氮化物薄膜的远程外延制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120608328B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511108063.3，技术领域涉及：C30B29/38；该发明授权一种基于极化效应的氮化物薄膜的远程外延制备方法是由曹冰;刘淼;夏天设计研发完成，并于2025-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于极化效应的氮化物薄膜的远程外延制备方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种基于极化效应的氮化物薄膜的远程外延制备方法，涉及半导体材料技术领域。制备方法包括：在经预处理的衬底上生长Al1‑xMxN掺杂极化层，x为0.15‑0.45中任一值，在Al1‑xMxN掺杂极化层的表面制备铂电极层，并对铂电极层施加电流和外加电场，使得电场作用于掺杂极化层调控铁电极化效应，并调节掺杂极化层的极化强度为0.1μCcm2‑250μCcm2中任一值；对铂电极层进行刻蚀处理，以暴露处于极化状态的掺杂极化层；在掺杂极化层的表面依次生长二维材料层和氮化物膜层，制备获得氮化物薄膜。本申请的制备方法能够显著增强复合衬底的极化强度，避免二维材料层削弱衬底极性导致的晶体质量问题。

本发明授权一种基于极化效应的氮化物薄膜的远程外延制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于极化效应的氮化物薄膜的远程外延制备方法，其特征在于，包括： 在经预处理的衬底上生长Al1-xMxN掺杂极化层，x为0.15-0.45中任一值，元素M为Sc、Y、La、Nd、Gd、Dy、Er、Yb、Lu中任意一种； 在所述Al1-xMxN掺杂极化层的表面制备厚度为50nm-100nm中任一值的铂电极层，并对所述铂电极层施加电流密度为10mAcm2-30mAcm2中任一值、外加电场为-10MVcm至10MVcm中任一值的电场，使得所述电场作用于所述Al1-xMxN掺杂极化层调控铁电极化效应，并调节所述Al1-xMxN掺杂极化层的极化强度为0.1μCcm2-250μCcm2中任一值； 对所述铂电极层进行刻蚀处理，以暴露处于极化状态的所述Al1-xMxN掺杂极化层； 在处于极化状态的所述Al1-xMxN掺杂极化层的表面依次生长二维材料层和氮化物膜层，制备获得所述氮化物薄膜，所述氮化物膜层的生长温度为600℃-1200℃中任一值； 所述对所述铂电极层进行刻蚀处理的步骤还包括： 利用湿法刻蚀去除铂电极层，所述湿法刻蚀的刻蚀液包括浓度为0.5molL-1.0molL中任一值的碘化钾和浓度为0.05molL-0.1molL中任一值的碘单质； 所述湿法刻蚀的刻蚀时间为30s-90s中任一值。

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