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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种适用多尺寸晶圆的摆动式干燥槽获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119594681B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510144853.0，技术领域涉及：F26B9/08；该发明授权一种适用多尺寸晶圆的摆动式干燥槽是由钱诚;霍召军;刘青松设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用多尺寸晶圆的摆动式干燥槽在说明书摘要公布了：本申请涉及一种适用多尺寸晶圆的摆动式干燥槽，属于晶圆生产设备技术领域。适用多尺寸晶圆的摆动式干燥槽由槽体、摆动机构和设置在摆动机构上的晶圆篮安放座组成。利用晶圆篮安放座上的第一支撑块、第二支撑块和第三支撑块三个支撑块和两个侧板实现了一个支撑架对两个不同尺寸的第一晶圆篮和第二晶圆篮的支撑，使得晶圆清洗生产设备直接可以适应不同尺寸的晶圆，提高设备的适应能力，同时对于晶圆篮的支撑稳定可靠。

本发明授权一种适用多尺寸晶圆的摆动式干燥槽在权利要求书中公布了：1.一种适用多尺寸晶圆的摆动式干燥槽，其特征在于，包括： 槽体； 摆动机构，包括：设置在槽体外的水平滑动模组，设置在水平滑动模组上的滑块，安装在滑块上的拱形滑动臂，所述拱形滑动臂伸入到槽体内，且所述拱形滑动臂位于槽体内的部分上安装有晶圆篮安放座；所述水平滑动模组工作时能够带动滑块、拱形滑动臂连同晶圆篮安放座摆动； 所述晶圆篮安放座包括： 底座； 侧板，为两个，分别位于底座的两端； 第一支撑块、第二支撑块和第三支撑块，均设置在底座上位于两个所述侧板之间，且所述第三支撑块位于第一支撑块和第二支撑块之间； 所述第一支撑块上设置有第一阶梯踏面和第二阶梯踏面，所述第二支撑块上设置有第三阶梯踏面，所述第三支撑块上设置有第四阶梯踏面，第三阶梯踏面的设置高度低于第二阶梯踏面，所述第一阶梯踏面和第三阶梯踏面等高，所述第二阶梯踏面和第四阶梯踏面等高； 所述第一阶梯踏面和第三阶梯踏面用于支撑第一晶圆篮的底部且所述第二支撑块的侧面与其中一个侧板对第一晶圆篮的侧面进行限位； 所述第二阶梯踏面和第四阶梯踏面用于支撑第二晶圆篮的底部且两个所述侧板对第二晶圆篮的侧面进行限位； 第二阶梯踏面对应的第一阶梯踢面的朝向与第三阶梯踏面对应的第二阶梯踢面的朝向相反； 所述第一支撑块上具有U形凹槽，所述U形凹槽的底部为所述第一阶梯踏面； 所述底座上成型有3个安装槽，所述安装槽内安装第一支撑块、第二支撑块和第三支撑块，通过安装槽可以对第一支撑块、第二支撑块和第三支撑块的安装进行定位。

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