买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利用于半导体工艺设备的晶片调度序列确定方法及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118943050B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410993700.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于半导体工艺设备的晶片调度序列确定方法及电子设备是由王蔚;赵馨宁;李巍;张威;周广才设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于半导体工艺设备的晶片调度序列确定方法及电子设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种用于半导体工艺设备的晶片调度序列确定方法及电子设备，所述方法通过获取半导体工艺设备的目标调度模型的当前状态，目标调度模型的状态包括各库所的令牌数以及半导体工艺设备的各工艺腔室中多工位旋转工艺腔室的位置向量，位置向量包括多工位旋转工艺腔室的各工位中的晶片数量，在晶片调度序列未确定完成时，获取各候选变迁对应的目标数据，目标数据包括在当前状态下执行候选变迁后目标调度模型的后继状态和位置向量的返回值，返回值包括位置向量的目标位在变化前的值，并基于各目标数据确定当前时刻的目标变迁，以及，将目标变迁添加至半导体工艺设备的晶片调度序列，保证了晶片调度序列的生成效率以及晶片调度序列的有效性。

本发明授权用于半导体工艺设备的晶片调度序列确定方法及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体工艺设备的晶片调度序列确定方法，所述半导体工艺设备包括多个腔室和用于在腔室间传递晶片的机械手，所述腔室包括工艺腔室和非工艺腔室，所述工艺腔室包括至少一个多工位旋转工艺腔室，其特征在于，包括： 获取所述半导体工艺设备的目标调度模型的当前状态；所述目标调度模型包括多个库所和多个变迁，各个所述库所分别表示所述腔室或所述机械手的可用资源、所述机械手的持片状态以及所述腔室的处理状态，所述变迁表示所述机械手执行的动作；所述目标调度模型的状态包括各所述库所的令牌数以及所述多工位旋转工艺腔室的位置向量，所述位置向量包括所述多工位旋转工艺腔室的各工位中的晶片数量；各个所述库所的令牌数分别表示所述腔室或所述机械手的可用资源数量、所述机械手的持片数量以及所述腔室中的晶片数量； 在所述当前状态表征晶片调度序列未确定完成时，获取各候选变迁对应的目标数据，所述目标数据包括在所述当前状态下执行所述候选变迁后，所述目标调度模型的后继状态和所述位置向量的返回值；所述候选变迁包括多个所述变迁中的至少部分，所述返回值是在所述位置向量发生变化时生成的，所述返回值包括所述位置向量的目标位在变化前的值，所述目标位表示所述多工位旋转工艺腔室中用于取片的工位； 基于各所述目标数据确定当前时刻的目标变迁，并将所述目标变迁添加至所述晶片调度序列，所述目标变迁包括当前时刻所述机械手的优选执行动作。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。