北京北方华创微电子装备有限公司李文庆获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118737790B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310324026.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备是由李文庆;韦刚;卫晶;杜凤彪设计研发完成，并于2023-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备，基于射频电源的反射功率与反射系数实时数据切换阻抗匹配器的控制模式为自动模式或手动模式，在未起辉时和起辉时采用手动模式避免匹配时间慢、匹配时间不一致等问题，在等离子体稳定后采用手动模式，避免腔室阻抗微小波动导致阻抗匹配器过调导致的等离子体波动或灭辉，从而提高阻抗匹配效率及等离子体稳定性。
本发明授权阻抗匹配方法、阻抗匹配器及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种阻抗匹配方法，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括射频电源、阻抗匹配器及工艺腔室，所述射频电源通过所述阻抗匹配器向所述工艺腔室加载射频功率，其特征在于，所述方法包括： 获取所述射频电源的反射系数及反射功率；所述反射系数为所述反射功率与入射功率的比值； 若所述反射系数大于或等于预设系数阈值且所述反射功率大于预设功率阈值，则将所述阻抗匹配器设置为手动模式且将所述阻抗匹配器的参数可调器件的参数值设置为预设起辉参数值。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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