华东师范大学吴光获国家专利权
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龙图腾网获悉华东师范大学申请的专利一种基于非稳频光源的激光干涉仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116255898B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310061257.7,技术领域涉及:G01B9/02;该发明授权一种基于非稳频光源的激光干涉仪是由吴光;庞程凯;李召辉;杨雷;黄海燕设计研发完成,并于2023-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于非稳频光源的激光干涉仪在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于非稳频光源的激光干涉仪,其特点是该激光干涉仪由非稳频窄线宽激光器、第一分束器与参考模块和探测模块组成,所述非稳频窄线宽激光器1经第一分束器分为两激光光源,一激光光源通过参考模块用于激光波长的频率检测,另一激光光源通过探测模块用于目标位移检测;所述参考模块测量获得的激光波长用于修正探测模块的测量结果,实现高精度位移检测。本发明与现有技术相比无需锁定激光频率,就能满足工业应用的前提下减小激光干涉仪的体积与成本,且激光干涉仪工作波长、器件的选取不再受到频率参考器件影响,令干涉仪的使用更为灵活、便捷,结构简单,稳定性高,进一步拓宽了激光干涉仪在工业环境中的应用场景。
本发明授权一种基于非稳频光源的激光干涉仪在权利要求书中公布了:1.一种基于非稳频光源的激光干涉仪,其特征在于,该激光干涉仪由非稳频窄线宽激光器、第一分束器与参考模块和探测模块组成,所述参考模块包括:第二分束器、第一角反射器、第二角反射器、第一光学窗片和第一光电探测器;所述探测模块包括:第三分束器、第三角反射器、第四角反射器、第二光学窗片和第二光电探测器;所述非稳频窄线宽激光器出射的激光经第一分束器分为两束,一激光入射至参考模块用于激光波长计算,另一激光入射至探测模块用于目标位移检测,入射至参考模块的激光经第二分束器分为两束,一激光经第一角反射器、第一光学窗片后透射穿过第二分束器,入射至第一光电探测器;另一激光经第二角反射器后由第二分束器反射,入射至第一光电探测器,到达第一光电探测器的两束光干涉后行成两路相正交干涉信号,并由第一光电探测器探测获得,用于激光波长计算;入射至探测模块的激光经第三分束器分为两束,一激光经第三角反射器、第二光学窗片后由第三分束器反射,入射至第二光电探测器;另一激光由安装在目标上的第四角反射器反射,经第三分束器后入射至第二光电探测器,到达第二光电探测器的两束光干涉后形成两路相正交干涉信号,并由第二光电探测器探测获得,用于计算目标位移量;所述参考模块测量获得的激光波长用于修正探测模块的测量结果,实现位移检测。
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