乐山市京运通新材料科技有限公司曾宏强获国家专利权
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龙图腾网获悉乐山市京运通新材料科技有限公司申请的专利一种低氧含量12吋硅棒的生产方法及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116219531B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310222633.6,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权一种低氧含量12吋硅棒的生产方法及其应用是由曾宏强;关树军;洪华;路建华;谷剑锋;杨亚方设计研发完成,并于2023-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低氧含量12吋硅棒的生产方法及其应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种低氧含量12吋硅棒的生产方法及其应用,包括以下步骤:S1,化料阶段;S2,熔接阶段;S3,引晶阶段;S4,放肩阶段;S5,转肩阶段;S6,等径阶段;S7,收尾阶段,其中,S1中,坩埚1埚转,炉压1.5KPa;S2中,坩埚6埚转,炉压1.5KPa;S3中,坩埚6埚转,炉压1.5KPa;S4中,坩埚6埚转,炉压1.5KPa;S5中,坩埚6埚转,炉压1.5KPa;S6中,起使坩埚6埚转,逐渐变为9.5埚转,炉压1.5KPa;S7中,坩埚9.5埚转,炉压1.5KPa。本发明通过对埚转及炉压参数的协同改进,在36吋大热场实现了12吋单晶硅棒的氧含量平均值控制在14ppm以下。
本发明授权一种低氧含量12吋硅棒的生产方法及其应用在权利要求书中公布了:1.一种36吋大热场下低氧含量12吋硅棒的生产方法,包括以下步骤: S1,化料阶段;S2,熔接阶段;S3,引晶阶段;S4,放肩阶段;S5,转肩阶段;S6,等径阶段;S7,收尾阶段,其中,S1中,坩埚1埚转,炉压1.5KPa;S2中,坩埚6埚转,炉压1.5KPa;S3中,坩埚6埚转,炉压1.5KPa;S4中,坩埚6埚转,炉压1.5KPa;S5中,坩埚6埚转,炉压1.5KPa;S6中,起始坩埚6埚转,逐渐变为9.5埚转,炉压1.5KPa;S7中,坩埚9.5埚转,炉压1.5KPa;或 S1中,坩埚1埚转,炉压2KPa;S2中,坩埚5埚转,炉压2KPa;S3中,坩埚5埚转,炉压2KPa;S4中,坩埚5埚转,炉压2KPa;S5中,坩埚5埚转,炉压2KPa;S6中,起始坩埚5埚转,逐渐变为9埚转,炉压2KPa;S7中,坩埚9.5埚转,炉压2KPa;或 S1中,坩埚1埚转,炉压为1.5KPa;S2中,坩埚5埚转,炉压为1.5KPa;S3中,坩埚5埚转,炉压1.5KPa;S4中,坩埚5埚转,炉压1.5KPa;S5中,坩埚5埚转,炉压1.5KPa;S6中,起始5埚转,逐渐变为9埚转,炉压1.5KPa;S7中,坩埚9埚转,炉压1.5KPa; 所述硅棒氧含量小于14ppm。
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