哈尔滨工业大学常笛获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种面内面外二自由度位移同步测量方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115435693B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211197360.6,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种面内面外二自由度位移同步测量方法及系统是由常笛;胡鹏程;谭久彬设计研发完成,并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种面内面外二自由度位移同步测量方法及系统在说明书摘要公布了:本申请提供了一种面内面外二自由度位移同步测量方法及系统,涉及光学测量领域,技术要点是:调制光源发出的光束经过分光器件分束输出第一光束、第二光束;第一光束通过第一环行器件后进入由第一腔镜和光栅构成的F‑P腔形成第一干涉光束,第一干涉光束依次通过第一腔镜、第一环行器件被第一光电探测器接收;第二光束通过第二环行器件后进入由第二腔镜和光栅构成的F‑P腔形成第二干涉光束,第二干涉光束依次通过第二腔镜、第二环行器件,被第二光电探测器接收;两个干涉信号经信号处理模块解调获得两个多光束干涉相位,解耦得到光栅面内面外二自由度位移信息。相较于现有技术而言,降低了光路复杂程度,提升了光栅面外位移的量程,突破了工作距限制。
本发明授权一种面内面外二自由度位移同步测量方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种面内面外二自由度位移同步测量方法,其特征在于,由调制模块11输出信号调制的光源2发出光束,依次经过分光器件31分束; 分光器件31输出的第一光束,通过第一环行器件32a后,产生第一入射光,进入由第一腔镜41a和光栅42构成的F-P腔,产生的第一干涉光束依次通过第一腔镜41a、第一环行器件32a,被第一光电探测器5a接收; 分光器件31输出的第二光束,通过第二环行器件32b后,产生第二入射光,进入由第二腔镜41b和光栅42构成的另一个F-P腔,产生的第二干涉光束依次通过第二腔镜41b、第二环行器件32b,被第二光电探测器5b接收; 由第一光电探测器5a接收到的第一干涉信号和第二光电探测器5b接收到的第二干涉信号传输至信号处理模块12,经信号处理模块12解调获得第一多光束干涉相位和第二多光束干涉相位,进一步解耦得到光栅42面内面外二自由度位移信息; 所述第一入射光、第二入射光的光轴与光栅42法线呈+m阶或-m阶Littrow角,其中m为大于等于1的正整数;或, 所述第一入射光、第二入射光的光轴与光栅42法线平行;或, 所述第一入射光、第二入射光的光轴既不与光栅42法线平行,也不呈任一阶Littrow角; 在所述第一环行器件32a、第二环行器件32b与光栅42之间,放置光线偏折器件使第一入射光、第二入射光的光轴与光栅42法线呈+m阶或-m阶Littrow角,其中m为大于等于1的正整数。
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