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罗门哈斯电子材料有限责任公司E·阿卡德获国家专利权

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龙图腾网获悉罗门哈斯电子材料有限责任公司申请的专利单体、聚合物和包含其的光刻组合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115373221B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211143472.3,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权单体、聚合物和包含其的光刻组合物是由E·阿卡德;J·F·卡梅伦;J·W·萨克莱设计研发完成,并于2018-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

单体、聚合物和包含其的光刻组合物在说明书摘要公布了:单体、聚合物和包含其的光刻组合物。提供了一种光致抗蚀剂组合物,其包含:a一种或多种聚合物,所述聚合物包括:单体的一个或多个重复单元,所述单体包括碲吩杂环和一个或多个烯系可聚合基团,或者一种或多种聚合物,所述聚合物包括式IIIC表示的单体的一个或多个重复单元;和b一种或多种酸产生剂化合物,

本发明授权单体、聚合物和包含其的光刻组合物在权利要求书中公布了:1.一种光致抗蚀剂组合物,其包含: a一种或多种聚合物,所述聚合物包括式IIIC表示的单体的一个或多个重复单元;和 b一种或多种酸产生剂化合物, IIIC 式中, R是氢或任选取代的C1-16烷基; S是化学键或具有1到20个或更多个可任选被取代的碳和杂原子的链,所述杂原子选自N、O和S; 每个R1是相同或不同的非氢取代基,并且可包含一个或多个酸可裂解基团、极性基团和或碱反应性基团; R2是非氢取代基,并且可包含一个或多个酸可裂解基团、极性基团和或碱反应性基团;以及 n是0其中不存在R1基团到4的整数; 其中式IIIC表示的单体包括一个或多个酸可裂解基团。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人罗门哈斯电子材料有限责任公司,其通讯地址为:美国马萨诸塞州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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