东京毅力科创株式会社小泉克之获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利温度控制装置、温度控制方法以及载置台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115050670B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210482619.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权温度控制装置、温度控制方法以及载置台是由小泉克之;金子健吾设计研发完成，并于2017-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度控制装置、温度控制方法以及载置台在说明书摘要公布了：提供一种温度控制装置、温度控制方法以及载置台。在加热器发生了断线的情况下也将被处理基板的温度控制的精度维持为高精度。基板处理装置具备静电卡盘、控制部以及多个加热器。静电卡盘的内部的各分割区域分别嵌入有多个加热器。在各分割区域中被嵌入的多个加热器并联连接。控制部针对每个分割区域，基于流过被嵌入到分割区域的多个加热器的电流的合计值来判定被嵌入到每个分割区域的加热器的一部分有无断线。然后，控制部在判定为被嵌入到分割区域的加热器的一部分发生了断线的情况下进行控制，以使得流过被嵌入到加热器的一部分发生了断线的分割区域内的每一个加热器的电流比流过所有加热器都没有发生断线的分割区域内的每一个加热器的电流多。
本发明授权温度控制装置、温度控制方法以及载置台在权利要求书中公布了：1.一种温度控制装置，其特征在于，具备： 基材； 静电卡盘，其配置于所述基材上，且具有多个分割区域；以及 多个控制块，所述多个控制块分别与所述多个分割区域对应， 其中，所述静电卡盘包括绝缘层，该绝缘层具有第一面、以及位于所述第一面的相反侧的第二面， 所述多个分割区域的各个分割区域包含： 第一加热器，其配置于所述绝缘层的所述第一面；以及 第二加热器，其配置于所述绝缘层的所述第一面或所述第二面，并与所述第一加热器并联连接， 所述多个控制块的各个控制块包含： 电流计，其与对应的分割区域中包含的所述第一加热器及所述第二加热器连接，所述电流计用于测定流过所述第一加热器以及所述第二加热器的电流的合计值；以及 电流控制部，其构成为，针对各个所述分割区域，基于来自与该分割区域相对应的所述电流计输出的所述电流的合计值来控制向该分割区域中包含的所述第一加热器和所述第二加热器供给的电流。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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