佳能株式会社齐藤悠树获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利测量装置、曝光装置和物品制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114647155B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111548324.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权测量装置、曝光装置和物品制造方法是由齐藤悠树设计研发完成，并于2021-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本测量装置、曝光装置和物品制造方法在说明书摘要公布了：本公开涉及测量装置、曝光装置和物品制造方法。提供了一种用于测量物体的高度位置的测量装置。该装置包括将测量光投射到物体上的光投射器、接收被物体反射的测量光的光接收器、以及基于由光接收器接收到的测量光的图像确定物体的高度位置的处理器。光投射器将粗糙检测图案和具有周期性图案的精细检测图案投射到物体上，并且处理器基于由光接收器接收到的粗糙检测图案确定物体的高度位置的粗糙检测值，以及基于粗糙检测值和由光接收器接收到的精细检测图案确定物体的高度位置的精细检测值。
本发明授权测量装置、曝光装置和物品制造方法在权利要求书中公布了：1.一种测量装置，其特征在于，所述测量装置用于测量物体的高度位置，所述测量装置包括： 光投射器，被配置为将粗糙检测图案和具有周期性图案的精细检测图案投射到物体上； 光接收器，被配置为对由光投射器投射到物体上的粗糙检测图案和精细检测图案进行成像；以及 处理器，被配置为基于由光接收器成像的粗糙检测图案，确定物体的高度位置的粗糙检测值，以及基于粗糙检测值和由光接收器成像的精细检测图案，确定物体的高度位置的精细检测值， 其中，光投射器被配置为将粗糙检测图案和精细检测图案投射到物体上，使得粗糙检测图案围绕精细检测图案。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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