通快许廷格有限公司W·加耶夫斯基获国家专利权
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龙图腾网获悉通快许廷格有限公司申请的专利在等离子体室中对衬底进行等离子体处理的方法和等离子体处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114586129B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080066867.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权在等离子体室中对衬底进行等离子体处理的方法和等离子体处理系统是由W·加耶夫斯基;K·鲁达;J·斯维亚特尼基设计研发完成，并于2020-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本在等离子体室中对衬底进行等离子体处理的方法和等离子体处理系统在说明书摘要公布了：一种在等离子体室中对衬底进行等离子体处理的方法，包括以下步骤：a.向等离子体室供应电源信号，以便在等离子体室中形成等离子体；b.监测与等离子体处理相关的至少一个参数；c.确定与所监测的所述至少一个参数相关的特征；d.在等离子体处理期间调整电源信号以修改特征。
本发明授权在等离子体室中对衬底进行等离子体处理的方法和等离子体处理系统在权利要求书中公布了：1.一种在等离子体室6中对衬底10进行等离子体处理的方法，包括以下方法步骤： a.向布置在等离子体室6内的电极11、12供应电源信号，以便在等离子体室中形成等离子体7； b.监测与等离子体处理相关的至少一个参数； c.确定与所监测的所述至少一个参数相关的特征； d.在等离子体处理期间调整电源信号以减小特征， e.减小特征，以消除或减轻衬底10上的龟裂的形成； 其中，所述特征是重复性事件； 所述特征的确认步骤包括： A在参数的波形形状中通过预定义的“特征”确定龟裂的可能性； 其中，所述预定义包括将所监测的至少一个参数或从其导出的量与阈值边界进行比较； B确认“特征”可以被减小； C确定具有这个减小的“特征”时龟裂的可能性； D如果龟裂的可能性随着减小的“特征”而降低，则确认此特征。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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