常州亿晶光电科技有限公司刘银获国家专利权
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龙图腾网获悉常州亿晶光电科技有限公司申请的专利一种传送硅片水道线装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223414055U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422852151.1,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种传送硅片水道线装置是由刘银;张飞;徐明靖;孙铁囤设计研发完成,并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传送硅片水道线装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及插片设备技术领域,尤其是涉及一种传送硅片水道线装置,包括上料装置,上料装置包括基座、活动座、安装座、步进机构以及插片机构,基座和活动座滑动连接,安装座和活动座固定连接,安装座上开设有用于容置花篮的固定槽,插片机构和基座固定连接,插片机构用于将硅片插设在花篮内,步进机构和基座固定连接,步进机构的输出端和活动座传动连接,步进机构用于逐步驱使活动座移动,通过步进机构的设计,使得硅片花篮的移动精准化,能够准确的到达插片工位,使得硅片能够精准插入花篮内,避免了残次品的产生。
本实用新型一种传送硅片水道线装置在权利要求书中公布了:1.一种传送硅片水道线装置,其特征在于,包括上料装置,所述上料装置包括基座1、活动座2、安装座3、步进机构4以及插片机构5,所述基座1和活动座2滑动连接,所述安装座3和活动座2固定连接,所述安装座3上开设有用于容置花篮的固定槽,所述插片机构5和基座1固定连接,所述插片机构5用于将硅片插设在花篮内,所述步进机构4和基座1固定连接,所述步进机构4的输出端和活动座2传动连接,所述步进机构4用于逐步驱使活动座2移动。
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