深圳市思坦科技有限公司蔡文获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市思坦科技有限公司申请的专利一种刻蚀装置及载具结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223414053U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422639458.3，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种刻蚀装置及载具结构是由蔡文设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀装置及载具结构在说明书摘要公布了：本申请提供了一种刻蚀装置及载具结构，涉及载具结构领域，载具结构包括承载件与导热件，所述承载件包括容纳腔和开口部，所述导热件能够穿过所述开口部插设于所述容纳腔中，并至少部分与所述承载件贴合。本申请通过调整所述导热件位置的方式来调整承载件上的样品的温度，能实现刻蚀温度的精细化调整，无需通过调整设备腔室温度设定来调整所述样品的温度，减少了刻蚀工作过程中的能耗，减少了成本，且提升了刻蚀工作过程中所述样品温度调节的效率，提升了所述样品温度调节的便捷性，提高了刻蚀工作的效率。
本实用新型一种刻蚀装置及载具结构在权利要求书中公布了：1.一种载具结构，其特征在于，包括： 承载件，所述承载件包括容纳腔和开口部； 导热件，所述导热件能够穿过所述开口部插设于所述容纳腔中，并至少部分与所述承载件贴合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市思坦科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区工业园路1号1栋凯豪达大厦十三层1309；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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