荣芯半导体(宁波)有限公司王皓获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利一种侦测装置及半导体生产设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223414046U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422876549.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种侦测装置及半导体生产设备是由王皓;阚保国;陈伏宏;钱东;顾保荣;姚俊龙;蔡嘉辉设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种侦测装置及半导体生产设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种侦测装置及半导体生产设备，侦测装置包括探测机构和吹扫机构；探测机构包括第一结构件和第二结构件；第一结构件和第二结构件沿预设方向排布，并分别位于预设位置的相对两侧；第一结构件包括光信号发射部；吹扫机构包括气体喷射部，气体喷射部朝向光信号发射部产生的光信号的传输路径布置，气体喷射部的轴线的延伸方向与预设方向相交。侦测装置可应用于半导体生产设备，并能够通过吹扫机构对光信号的传输路径进行吹扫，以有效减少扩散至所述光信号的传输路径的烟气和或雾气，从而减少甚至避免烟气和或雾气对探测机构的干扰，提高探测机构的监测准确性。
本实用新型一种侦测装置及半导体生产设备在权利要求书中公布了：1.一种侦测装置，其特征在于，包括： 探测机构，包括第一结构件和第二结构件；所述第一结构件和所述第二结构件沿预设方向间隔排布，并分别位于预设位置的相对两侧；所述第一结构件包括光信号发射部，所述光信号发射部所产生的光信号能够沿所述预设方向传输；以及，吹扫机构，包括气体喷射部，所述气体喷射部朝向所述光信号的传输路径布置，且所述气体喷射部的轴线的延伸方向与所述预设方向相交。
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