乐华科技股份有限公司佐佐木大辅获国家专利权
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龙图腾网获悉乐华科技股份有限公司申请的专利晶舟盒夜视装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223414036U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422564825.8,技术领域涉及:H01L21/66;该实用新型晶舟盒夜视装置是由佐佐木大辅设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶舟盒夜视装置在说明书摘要公布了:本实用新型为有关一种晶舟盒夜视装置,结构包括可容纳有复数并排设置的晶圆片的晶舟盒、数个间隙部、晶圆搬运装置、机械手臂、及夜视装置,夜视装置包含有红外光发射件、辐射检测件、及可产生可见光图像的图像转换件,并具有状态检测模组及控制模组。借此,在晶圆搬运装置抓取晶圆片之前,先利用夜视装置的红外光发射件朝间隙部射入红外光,并由辐射检测件接受反射光及由图像转换件生成可见光图像,以通过状态检测模组判断出间隙部深处的晶圆片储存状态,最后由控制模组决定机械手臂的动作,避免因晶圆片异常储存状态导致破片。
本实用新型晶舟盒夜视装置在权利要求书中公布了:1.一种晶舟盒夜视装置,其特征在于,包括: 晶舟盒,可容纳复数并排设置的晶圆片,各所述晶圆片之间、或各所述晶圆片与所述晶舟盒的壁面之间具有间隙部; 晶圆搬运装置,设于所述晶舟盒一侧; 机械手臂,枢设于所述晶圆搬运装置上; 夜视装置,设于所述机械手臂上,并包含有: 红外光发射件,其发射方向与所述机械手臂的抓取方向保持一致,射入所述间隙部内; 辐射检测件,设于所述红外光发射件一侧,以供接收所述红外光发射件的反射光线,并将其转换为电讯号; 图像转换件,信息连结所述辐射检测件,以将所述电讯号计算处理产生可见光图像; 状态检测模组,信息连结夜视装置,以根据可见光图像判断各所述晶圆片的储存状态; 及控制模组,信息连结所述状态检测模组,以在读取到无异常的储存状态时,驱动所述机械手臂进入所述间隙部内。
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