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龙图腾网获悉南京埃米仪器科技有限公司申请的专利一种基于图像、数据处理的AFM扫描晶圆结构分析方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120451141B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510909144.7，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种基于图像、数据处理的AFM扫描晶圆结构分析方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于图像、数据处理的AFM扫描晶圆结构分析方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于图像、数据处理的AFM扫描晶圆结构分析方法，包括步骤：S1、对高度图数据逐行高斯拟合和逐行去噪；S2、逐行进行最小二乘多项式拟合，用新数据得到调平数据；S3、将调平数据归一化，形成灰度图像；找出所有类圆区域并靠边排除；S4、在调平数据中裁切三维数据簇并进行聚类处理，分离出每个对应的底孔数据簇和上表面数据簇；依据底孔数据簇得到对应的下孔云直径，将底孔数据簇中每个数据求均值，得到孔底高度。本发明通过改进的拉平方式对AFM数据进行处理，转化为二维图像，进而裁切三维数据传进行聚类降噪，可有效提取出实际轮廓数据和分析出晶圆的类圆形结构尺寸，改进计算流程，增强数据稳定性和计算准确性。

本发明授权一种基于图像、数据处理的AFM扫描晶圆结构分析方法在权利要求书中公布了：1.一种基于图像、数据处理的AFM扫描晶圆结构分析方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、从AFM对晶圆扫描的数据中提取出高度图数据，对高度图数据进行逐行高斯拟合和逐行去噪，得到优化后的扫描数据； 其中，进行逐行去噪时，对任意一行的去噪过程如下：从经过高斯拟合后的数据中判断是否存在多个顶峰，若否，则将经过高斯拟合后的数据规整化为原先的2%至95%之间；若是，则将经过高斯拟合后的数据中的最小数据作为最小值，将此行中的最后一个顶峰值作为最大值，再将经过高斯拟合后的数据中每个大于最大值的数据均以最大值进行替换；其中，任意的相邻顶峰间均满足最小间距，最小间距大于对应行的总长度的110； S2、对步骤S1中优化后的扫描数据逐行进行最小二乘多项式拟合，用拟合时对应的拟合参数方程形成与拟合数据相同长度的新数据；利用新数据去除步骤S1中优化后的扫描数据，得到拉平后的调平数据； S3、将步骤S2中的调平数据归一化，形成灰度图像；再找出灰度图像中的所有类圆区域并对每个类圆区域进行靠边排除，获得每个上孔云和对应的每个上孔云直径； S4、基于步骤S3中每个上孔云和对应的每个上孔云直径，在调平数据中裁切出对应的每个三维数据簇，对每个三维数据簇进行聚类处理，分离出每个对应的底孔数据簇和上表面数据簇；依据每个底孔数据簇得到对应的每个下孔云直径，同时将每个底孔数据簇中的每个数据求均值，得到每个对应的孔底高度。

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