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龙图腾网获悉成都芯极客科技有限公司申请的专利一种前开式晶圆传送盒清洗设备的自动化检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120413459B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510889497.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种前开式晶圆传送盒清洗设备的自动化检测方法是由赵俊设计研发完成，并于2025-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种前开式晶圆传送盒清洗设备的自动化检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，具体公开了一种前开式晶圆传送盒清洗设备的自动化检测方法，获取参数信息，根据参数信息配置控制信息编码，绑定控制信息编码至前开式晶圆传送盒FOUP清洗设备；当满足参数条件时，AMA系统抓取FOUP，绑定控制信息编码至FOUP，使用清洗设备清洗FOUP；拉取一批次晶圆，量测晶圆并获得第一量测值，获取数据收集计划，并根据第一量测值确定晶圆是否异常，若异常则执行异常处理，否则放入MonitorFoup；再次量测得到第二量测值，计算第二量测值和第一量测值的差值，通过差值确定清洗设备的检测结果。通过多样的参数信息配置控制信息编码，并通过控制信息编码绑定清洗设备和前开式晶圆传送盒，从而可以多维度的对清洗设备进行检测。

本发明授权一种前开式晶圆传送盒清洗设备的自动化检测方法在权利要求书中公布了：1.一种前开式晶圆传送盒清洗设备的自动化检测方法，其特征在于，所述方法具体包括： 步骤S1：获取参数信息，所述参数信息包括前开式晶圆传送盒参数、晶圆参数和定时监控机制，根据所述参数信息配置控制信息编码，绑定所述控制信息编码至前开式晶圆传送盒的清洗设备； 步骤S2：当满足所述控制信息编码中的参数条件时，AMA系统抓取清洗日期最靠前的前开式晶圆传送盒，绑定所述控制信息编码至所述前开式晶圆传送盒，使用所述清洗设备清洗所述前开式晶圆传送盒，标记所述前开式晶圆传送盒为Monitor Foup； 步骤S3：AMA系统拉取一批次的晶圆，对所述晶圆执行第一次量测并获得第一量测值，获取数据收集计划，并根据所述第一量测值和所述数据收集计划确定所述晶圆是否存在异常，若存在异常则执行异常处理，若不存在异常则把所述晶圆放入所述Monitor Foup； 步骤S4：放入所述Monitor Foup后，对所述晶圆执行第二次量测并获得第二量测值，通过所述数据收集计划获得所述第二量测值和所述第一量测值之间的差值，通过所述差值确定所述清洗设备的检测结果，根据所述检测结果对所述清洗设备执行操作。

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