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龙图腾网获悉浙江中科尚弘离子装备工程有限公司;浙江埃比半导体装备有限公司申请的专利一种用于晶圆加工的下料装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120300047B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510790818.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种用于晶圆加工的下料装置和方法是由龚再生设计研发完成，并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆加工的下料装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆加工的下料装置和方法，包括举升组件和取料组件；举升组件包括底板，设置在下方的驱动电机的输出端滚珠丝杠传动连接，设置在滚珠丝杠上的滑块连接有同步移动的活动板，在活动板的两侧分别固定设置有一导向传动杆，解锁板的一端套设在导向传动杆上，并通过弹簧与活动板弹性连接，且可在驱动电机的推动下解除对晶圆的锁定；取料组件包括旋转杆，在旋转杆的两端端部分别设有一夹持机构；夹持机构的外边缘设有若干夹持爪，在上基板的中间位置安装有夹持气缸，夹持气缸的活塞杆连接有同步连接件，同步连接件分别通过一同步板与一夹持爪活动连接，且夹持爪可在夹持气缸的驱动下切换夹紧或松开状态。

本发明授权一种用于晶圆加工的下料装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆加工的下料装置，其特征在于，包括举升组件1和取料组件2； 所述举升组件1包括底板11，设置在底板11下方的驱动电机12的输出端与设置在底板11上方的滚珠丝杠13传动连接，设置在滚珠丝杠13上的滑块14连接有同步移动的活动板15，在活动板15的两侧分别固定设置有一导向传动杆16，解锁板17的一端套设在导向传动杆16上，并通过弹簧18与活动板15弹性连接，解锁板17的另一端延伸至晶圆加工位，且可在驱动电机12的推动下解除对晶圆的锁定； 所述取料组件2包括旋转杆21，在旋转杆21中间位置的下方设有用于驱动旋转杆21转动的取料电机22和用于驱动旋转杆21上下移动的取料气缸23，在旋转杆21的两端端部分别设有一夹持机构3； 所述夹持机构3包括上基板31，上基板31通过固定轴与旋转杆21固定连接，沿上基板31的外边缘设有若干夹持爪32，在上基板31的中间位置安装有夹持气缸33，夹持气缸33的活塞杆连接有同步连接件34，同步连接件34分别通过一同步板35与一夹持爪32活动连接，且夹持爪32可在夹持气缸33的驱动下切换夹紧或松开状态； 所述解锁板17的底部设有活动基座171，活动基座171的两侧分别设有一通孔，且通过通孔套设在导向轴172上，导向轴172的两端分别通过一定位座173安装，定位座173固定设置在活动基板174的顶面，在活动基板174的底面设有滑动块175，所述滑动块175与平行设置在滚珠丝杠13侧方的滑轨176配合； 所述导向传动杆16分别位于解锁板17的两侧，导向传动杆16的端部与第一连杆161的一端连接，第一连杆161的另一端向下倾斜，且与通过第一转动件162与第二连杆163的一端活动连接，在第二连杆163的另一端设有第二转动件164，在第一转动件162和第二转动件164的内侧端分别设有一顶升块165，顶升块165可在导向传动杆16的推动下转动顶起晶圆，位于相对侧的两个顶升块165通过一同步转动轴166连接，在同步转动轴166上设有用于复位顶升块165的扭簧167。

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