安徽大学高文帅获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽大学申请的专利一种基于室温平面霍尔效应的角度传感器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120063335B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510170579.4,技术领域涉及:G01D5/14;该发明授权一种基于室温平面霍尔效应的角度传感器件及其制备方法是由高文帅;田明亮;朱相德;陈正;刘学设计研发完成,并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于室温平面霍尔效应的角度传感器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于传感器技术领域,公开了一种基于室温平面霍尔效应的角度传感器及其制备方法。该传感器以硅氧化硅为衬底,功能层为18纳米厚的二铋化铑纳米片,采用六方‑氮化硼封装,并通过电子束曝光工艺制备导电微电极,整体尺寸为百微米级别。其在室温强磁场下可实现相位相差45°的二倍角正余弦波形电阻率信号输出,感应范围为0‑360°,信号唯一且稳定。制备过程包括衬底清洁、纳米片转移与筛选、霍尔电极制备、金属电极形成及封装等步骤。该传感器具有小型化、高性能特点,适用于通信、传感和存储等领域,展现出显著的应用优势。
本发明授权一种基于室温平面霍尔效应的角度传感器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于室温平面霍尔效应的角度传感器件,其特征在于:该传感器件以硅氧化硅为衬底,功能层为18纳米厚度的二铋化铑纳米片,使用六方‑氮化硼覆盖封装,采用电子束曝光工艺制备导电微电极,该器件整体尺寸为百微米级别,该传感器件在室温强磁场下能够实现相位相差45°的二倍角正余弦波形电阻率信号,在0‑360°的范围内,信号具有唯一性和高稳定性。
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