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龙图腾网获悉是野科技(深圳)有限公司申请的专利一种轻量化激光飞秒微雕波导工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119820118B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411781252.2，技术领域涉及：B23K26/362；该发明授权一种轻量化激光飞秒微雕波导工艺是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种轻量化激光飞秒微雕波导工艺在说明书摘要公布了：本发明属于激光加工技术领域，具体涉及一种轻量化激光飞秒微雕波导工艺，通过精确调整激光脉冲的能量密度、脉冲间隔和扫描速度，确保波导路径上的改性点分布均匀，避免断点和缺陷的产生，从而实现波导路径的连续性；通过对波导路径的精细调整，确保波导路径上的折射率变化均匀，提高波导的传输效率，降低损耗，从而提升波导的整体光学性能；本发明的工艺流程简单、高效，无需复杂的光掩模和湿法刻蚀工艺，降低了生产成本，提高了生产效率，能够有效解决现有技术中存在的波导路径不连续和光学性能不稳定的问题，具有广泛的应用前景。

本发明授权一种轻量化激光飞秒微雕波导工艺在权利要求书中公布了：1.一种轻量化激光飞秒微雕波导工艺，其特征在于，包括以下步骤： 选取能够承受飞秒激光脉冲而不产生热损伤的透明或半透明材料作为基底； 在选定的所述基底上，利用高精度飞秒激光器发射激光脉冲，在发射激光脉冲过程中避免材料表面的烧蚀，同时确保在材料内部产生非线性吸收； 根据产生所述非线性吸收的位置，调整飞秒激光器的聚焦深度，使得激光焦点位于材料内部预期形成折射率变化的层面上； 结合设置的所述聚焦深度，通过控制激光脉冲的数量和间隔，形成一系列离散的改性点，所述改性点在材料内部构成预定的点阵结构； 利用形成的所述点阵结构，通过连续改变激光焦点的位置，构建出连续的波导路径，波导路径具有预定的几何形状，在构建的波导路径基础上，优化激光脉冲参数； 通过所述优化激光脉冲参数对波导路径进行调整，实现波导形状与尺寸的控制，之后，对整个波导结构进行质量检验，检查波导的连续性和光学性能是否达到设计标准； 根据所述质量检验的结果，对不符合标准的波导结构进行修正，直至所有波导均满足预设的性能指标； 所述根据产生所述非线性吸收的位置，调整飞秒激光器的聚焦深度，包括以下步骤：测量材料的厚度d和激光焦点的初始位置zo，并记录材料的折射率梯度计算激光焦点在材料内部的聚焦深度zf，使用公式其中Δn是折射率变化；利用聚焦深zf调整飞秒激光器的聚焦系统，使激光焦点精确位于材料内部预期形成折射率变化的层面上；在调整后的聚焦深度zf条件下，验证激光焦点的位置，并根据需要进行微调； 所述通过所述优化激光脉冲参数对波导路径进行调整，包括以下步骤：确定波导路径的预定几何形状和尺寸，记录波导的宽度和高度h，计算激光焦点在波导路径上的扫描路径长度Lscan，使用公式Lscan＝L+2h，其中L是波导路径的总长度；利用扫描路径长度Lscan，调整激光脉冲的重复频率f，以确保激光焦点在波导路径上均匀分布，使用公式f＝Lscan·t，其中v是激光扫描速度，t是脉冲间隔；在调整后的重复频率f条件下根据需要微调激光参数，以实现波导形状与尺寸的控制。

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