无锡釜川科技股份有限公司欧阳钊获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡釜川科技股份有限公司申请的专利一种硅片浸入清洗用压紧机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116314000B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310413434.3，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种硅片浸入清洗用压紧机构是由欧阳钊;冯华设计研发完成，并于2023-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片浸入清洗用压紧机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅片浸入清洗用压紧机构，属于硅片清洗技术领域，其包括设置在硅片下表面的滚轴、设置在硅片上表面轮轴以及若干套设在轮轴上的弹性挤压轮；所述弹性挤压轮包括轮体以及环布在轮体外周的若干正弯叶片，每相邻两个所述正弯叶片间形成一槽。本发明技术方案将深度溅浴的硅片完全压紧，提高生产效率，避免硅片压碎，提高产品的合格率。
本发明授权一种硅片浸入清洗用压紧机构在权利要求书中公布了：1.一种硅片浸入清洗用压紧机构，其特征在于，包括设置在硅片下表面的滚轴、设置在硅片上表面轮轴以及若干套设在轮轴上的弹性挤压轮； 所述弹性挤压轮包括轮体以及环布在轮体外周的若干正弯叶片，所述正弯叶片的弯曲方向与其自身转动方向一致，具体分为若干半径不同的弧形段，相邻弧形段之间过渡平滑； 且每相邻两个所述正弯叶片间形成一槽；沿槽底至槽口，槽宽逐渐增大再逐渐减小。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡釜川科技股份有限公司，其通讯地址为：214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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