河南师范大学闫勇获国家专利权
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龙图腾网获悉河南师范大学申请的专利一种场效应晶体管及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114512611B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210054314.4,技术领域涉及:H10K71/00;该发明授权一种场效应晶体管及其制备方法是由闫勇;李洁;李莎莎;邓群睿;罗高丽;耿振铎设计研发完成,并于2022-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种场效应晶体管及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种场效应晶体管及其制备方法。场效应晶体管的制备方法,包括:S10:将包括聚甲基丙烯酸甲酯和聚苯乙烯的原料混合,制成高分子溶液;S20:使用探针接触高分子溶液,拉出高分子丝状物,将高分子丝状物固定在基板上;S30:在基板上蒸镀金属,形成电极;S40:洗去基板上的高分子丝状物,得到场效应晶体管;其中,聚甲基丙烯酸甲酯和聚苯乙烯的质量比为1‑3:1。本发明利用高分子丝状物制备具备微纳尺寸沟道的场效应晶体管,操作简单,成本较低,且制备的微纳尺寸沟道的场效应晶体管具有良好的性能。
本发明授权一种场效应晶体管及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种场效应晶体管的制备方法,其特征在于,包括: S10:将包括聚甲基丙烯酸甲酯和聚苯乙烯的原料混合,制成高分子溶液; S20:使用探针接触所述高分子溶液,拉出高分子丝状物,将所述高分子丝状物固定在基板上; S30:在所述基板上蒸镀金属,形成电极; S40:洗去所述基板上的所述高分子丝状物,得到所述场效应晶体管;其中,所述聚甲基丙烯酸甲酯和所述聚苯乙烯的质量比为1‑3:1; 所述S20包括: S21:取第一探针接触所述高分子溶液,拉出所述高分子丝状物,将所述高分子丝状物置于所述基板以及所述基板上的二维材料的上侧; S22:取第二探针压住所述高分子丝状物,使所述高分子丝状物固定在所述基板上; 所述基板包括硅层和衬底层,所述衬底层包括二氧化硅层、氧化铝层、氮化镓层中的至少一种,所述衬底层的厚度为90纳米至300纳米; 所述电极包括:金电极、镍电极、铂电极、钨电极、铟电极中的至少一种; 所述高分子丝状物的直径在1um至100um。
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