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意法半导体公司J·S·塔利多获国家专利权

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龙图腾网获悉意法半导体公司申请的专利具有微机电系统(MEMS)的无帽半导体封装件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112978672B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011484169.0,技术领域涉及:B81B7/00;该发明授权具有微机电系统(MEMS)的无帽半导体封装件是由J·S·塔利多设计研发完成,并于2020-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。

具有微机电系统(MEMS)的无帽半导体封装件在说明书摘要公布了:本公开的实施例涉及具有微机电系统MEMS的无帽半导体封装件。一种半导体封装件包含专用集成电路ASIC裸片和微机电系统MEMS裸片。MEMS裸片和ASIC裸片被耦合到包括开口的基底,开口延伸穿过基底并且与气腔流体连通,气腔被定位在MEMS裸片与基底之间并且使MEMS裸片与基底分离。开口使气腔暴露于外部环境,并且此后,气腔使MEMS裸片的MEMS元件暴露于外部环境。使MEMS裸片与基底分离的气腔利用一种制造方法而形成,制造方法利用可热分解的裸片附接材料。

本发明授权具有微机电系统(MEMS)的无帽半导体封装件在权利要求书中公布了:1.一种设备,包括: 基底,包括第一表面、第二表面以及开口,所述第二表面背向所述第一表面,所述开口从所述第一表面延伸穿过所述基底到所述第二表面; 微机电系统MEMS裸片,与所述开口对准,所述MEMS裸片通过腔体与所述基底的所述第二表面隔开,所述MEMS裸片包括: 第三表面,面向所述基底的所述第二表面,所述腔体从所述MEMS裸片的所述第三表面延伸到所述基底的所述第二表面; 多个侧壁,横向于所述第三表面;以及MEMS元件,与在所述基底中的所述腔体对准; 模塑化合物,覆盖所述MEMS裸片的所述多个侧壁,并且限定所述腔体的侧面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人意法半导体公司,其通讯地址为:菲律宾卡兰巴市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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