均豪精密工业股份有限公司纪聪生获国家专利权
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龙图腾网获悉均豪精密工业股份有限公司申请的专利晶圆干燥系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223400084U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422629097.4，技术领域涉及：F26B11/18；该实用新型晶圆干燥系统是由纪聪生;张瑞宗;刘保正;吴庭毅设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆干燥系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆干燥系统，适于对晶圆进行干燥，晶圆干燥系统包括旋转基座、多个支点座、多个夹持装置及多个致动装置。各支点座分别环绕旋转基座的旋转轴线而设置于旋转基座。各夹持装置包括摆动元件、挟持元件及承靠元件，各摆动元件分别由第一枢轴而枢接于其对应的支点座，各个摆动元件的上段分别连接挟持元件与承靠元件，挟持元件设有凹部，承靠元件设有取放点，取放点邻近于凹部，而承靠元件相对挟持元件更靠近旋转轴线。这些致动装置分别设于旋转基座，各个致动装置分别驱动其所对应的摆动元件的下段，使摆动元件可绕第一枢轴进行摆动。
本实用新型晶圆干燥系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆干燥系统，适用于对一晶圆进行干燥，其特征在于，所述晶圆干燥系统包括： 一旋转基座，定义一旋转轴线； 多个支点座，分别环绕该旋转轴线而设置于该旋转基座； 多个夹持装置，各该夹持装置包括一摆动元件、一挟持元件及一承靠元件，各该摆动元件分别由一第一枢轴而枢接于其对应的该支点座，各该摆动元件的一上段分别连接该挟持元件与该承靠元件，该挟持元件设有一凹部，该承靠元件设有一取放点，该取放点邻近于该凹部，而该承靠元件相对该挟持元件更靠近该旋转轴线；以及多个致动装置，分别设于该旋转基座，各该致动装置分别驱动其所对应的该摆动元件的一下段，使该摆动元件能绕该第一枢轴进行摆动，而使该多个夹持装置在一取放位置与一夹持位置之间摆动； 其中，该多个夹持装置在该取放位置时，各该承靠元件的该取放点能接触该晶圆的一下表面；该多个夹持装置在该夹持位置时，各该挟持元件的该凹部能夹持该晶圆的一侧缘。
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