湖南玉丰真空科学技术有限公司刘国利获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南玉丰真空科学技术有限公司申请的专利一种用于移动磁控溅射阴极的真空跟踪检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120519819B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511017175.8，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种用于移动磁控溅射阴极的真空跟踪检测装置及方法是由刘国利;欧阳杰;张展荣;温景成;李国强设计研发完成，并于2025-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于移动磁控溅射阴极的真空跟踪检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于移动磁控溅射阴极的真空跟踪检测装置及方法，涉及真空镀膜设备技术领域。适用于真空腔室内采用移动磁控溅射阴极的镀膜设备，包括薄膜规真空计、薄膜规安装筒、薄膜规安装夹板、靶面气体收集管、柔性通气管道、柔性电缆。薄膜规安装夹板将薄膜规真空计、薄膜规安装筒、及靶面气体收集管固定在磁控溅射阴极上，使三者能够跟随磁控溅射阴极在镀膜设备的真空腔室内同步移动。本发明通过将薄膜规真空计与磁控溅射阴极固定连接，并采用柔性通气管道和柔性电缆实现自适应跟随，实时跟踪检测移动阴极靶面真空度并反馈至气体控制器。气体控制器根据反馈数据动态调节供气流量，维持溅射气压稳定，显著提升薄膜均匀性。
本发明授权一种用于移动磁控溅射阴极的真空跟踪检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于移动磁控溅射阴极的真空跟踪检测装置，适用于真空腔室内采用移动磁控溅射阴极的镀膜设备，其特征在于：包括薄膜规真空计、薄膜规安装筒、薄膜规安装夹板、靶面气体收集管、柔性通气管道、柔性电缆；其中，所述薄膜规安装筒通过薄膜规安装夹板与磁控溅射阴极固定连接，所述薄膜规真空计通过真空接口密封安装于薄膜规安装筒内，所述靶面气体收集管的排气口固定连接于薄膜规真空计的真空接口内，所述靶面气体收集管的收集口对准磁控溅射阴极靶材表面，所述柔性通气管道和柔性电缆均连接于薄膜规安装筒和真空腔室壁之间，且柔性电缆与薄膜规真空计的信号端通信连接，所述柔性通气管道用于维持薄膜规安装筒内的大气状态，所述柔性电缆用于将薄膜规真空计的信号传输至气体控制器，所述气体控制器根据薄膜规真空计的反馈信号，调节磁控溅射阴极的气体流量阀的开度。
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