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龙图腾网获悉杭州创锐光测技术有限公司申请的专利晶体缺陷检测系统、控制方法、介质和程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120445996B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510952939.6，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权晶体缺陷检测系统、控制方法、介质和程序产品是由倪文君;谭凯钊;陈俞忠设计研发完成，并于2025-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶体缺陷检测系统、控制方法、介质和程序产品在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶体缺陷检测系统、控制方法、介质和程序产品。晶体缺陷检测系统用于检测半导体器件的晶体缺陷，晶体缺陷检测系统包括：载物台、激发模块、探测模块、图像采集模块和数据处理模块，激发模块设置于载物台的一侧，激发模块用于向半导体器件的目标区域发射激发光束，以激发半导体器件产生载流子；探测模块设置于载物台的一侧，探测模块用于向目标区域发射探测光束；图像采集模块设置于载物台的一侧，图像采集模块用于接收从半导体器件射出的第一光束，根据第一光束生成第一信号和第二信号；数据处理模块用于根据第一信号和第二信号，生成关于目标区域的晶体缺陷信息。本申请提供的晶体缺陷检测系统可以对半导体器件进行无损检测。

本发明授权晶体缺陷检测系统、控制方法、介质和程序产品在权利要求书中公布了：1.一种晶体缺陷检测系统，其特征在于，用于检测半导体器件的晶体缺陷，所述晶体缺陷检测系统包括： 载物台，用于放置半导体器件； 激发模块，设置于所述载物台的一侧，所述激发模块用于向所述半导体器件上的目标区域发射激发光束，以激发所述半导体器件产生载流子； 探测模块，设置于所述载物台的一侧，所述探测模块用于向所述目标区域发射探测光束； 图像采集模块，设置于所述载物台的一侧，所述图像采集模块用于接收从所述半导体器件射出的第一光束，并根据所述第一光束生成至少一个探测信号，所述探测信号包括根据所述激发光束和所述探测光束共同作用于所述目标区域产生的光波生成的第一信号、以及根据所述探测光束作用于所述目标区域产生的光波生成的第二信号； 数据处理模块，与所述图像采集模块信号连接，所述数据处理模块用于根据所述探测信号的第一信号和第二信号，生成关于所述目标区域的晶体缺陷信息； 其中，所述数据处理模块用于根据所述探测信号的第一信号和第二信号生成图像信息，并根据所述图像信息生成关于所述目标区域的晶体缺陷信息。

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