江苏七维工控科技有限公司叶晓慧获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏七维工控科技有限公司申请的专利一种石墨烯图案的激光蚀刻装置及其蚀刻方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116423061B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310533112.2,技术领域涉及:B23K26/362;该发明授权一种石墨烯图案的激光蚀刻装置及其蚀刻方法是由叶晓慧;严学井设计研发完成,并于2023-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨烯图案的激光蚀刻装置及其蚀刻方法在说明书摘要公布了:本发明属于激光蚀刻设备技术领域,且公开了一种石墨烯图案的激光蚀刻装置,包括机座,所述机座的顶部固定安装有控制座,所述机座的顶部固定安装有激光蚀刻组件。本发明通过使得螺纹杆与底部框螺纹套接,实现每组气孔的密封控制,并配合负压机构中的负压泵抽吸底部框中的空气,根据实际的电路板材尺寸,旋转合适位置的气孔并通过旋转螺纹杆打开气孔,配合负压机构的抽吸下抽吸底部框中的气体,并在连通在抽吸板材底部气孔中的气体,使得板材上下面形成压力好差,完成电路板上石墨烯图案蚀刻前的便捷吸附固定,大大减小的侧面或顶面固定时对电路板顶部的遮挡,扩大实际蚀刻时的顶部空间,提高蚀刻效果,使用效果好。
本发明授权一种石墨烯图案的激光蚀刻装置及其蚀刻方法在权利要求书中公布了:1.一种石墨烯图案的激光蚀刻装置,包括机座1,其特征在于:所述机座1的顶部固定安装有控制座2,所述机座1的顶部固定安装有激光蚀刻组件3,所述机座1的顶面开设有放置槽4,所述机座1的正面开设有中间腔5,所述中间腔5内表面的顶面固定连接有底部框6,所述底部框6的底面开设有螺纹孔10,所述机座1的内部分别开设有气孔8和连通孔9,所述气孔8和连通孔9相连通,所述气孔8的上端与放置槽4相连通,所述连通孔9的下端与底部框6相连通,所述气孔8的内部活动套接有密封头12,所述密封头12的底面固定连接有螺纹杆11,所述螺纹杆11的下端穿过连通孔9和螺纹孔10且螺纹套接在螺纹孔10中,所述螺纹杆11的下端固定连接有操作板13,所述中间腔5的内部固定安装有负压机构7,所述负压机构7与底部框6相连通,所述螺纹杆11的外表面固定套接有限位套14,所述底部框6的正面开设有中间孔16,所述底部框6的正面固定连接有固定套19,所述固定套19与中间孔16相连通,所述固定套19的内部套设有滤板21,所述固定套19的内表面螺纹套接有连通套23,所述连通套23的端面固定连通有软管24,所述底部框6的底面开设有密封孔17,所述密封孔17与中间孔16垂直连通,所述密封孔17的内部螺纹套接有密封杆18,将待蚀刻的板材置于机座1顶部的放置槽4中,并根据板材形状确定几组适配的气孔8,从中间腔5中操作对应的螺纹杆11,使得螺纹杆11旋转并拉动密封头12下移,使得密封头12从气孔8中移动至连通孔9中,打开气孔8并启动负压机构7,随着负压机构7的启动,使得底部框6中的空气通过侧孔15吸出,同时底部框6朝着操作过的连通孔9和气孔8吸气,使得板材吸附固定在放置槽4中,启动激光蚀刻组件3,使得激光蚀刻组件3下移后对板材顶部的石墨烯进行蚀刻,完成蚀刻后,复位激光蚀刻组件3并旋转下移密封杆18,使得中间孔16与底部框6连通,同时旋转复位螺纹杆11,使得气孔8完全密封,再次启动负压机构7,握持软管24朝向放置槽4处,完成蚀刻后杂质的抽吸清理。
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