日本碍子株式会社只木干也获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利晶片载放台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116264180B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211403176.2,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权晶片载放台是由只木干也;升和宏;横野拓也;山名启太;高野谷怜音;入山暖辉设计研发完成,并于2022-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片载放台在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶片载放台,在不同高度的第一导电层及第二导电层经由导通部而导通的晶片载放台的基础上,使晶片的均热性变得良好。晶片载放台10构成为:在具有晶片载放面12a的陶瓷基体12的内部,副RF电极21第一导电层和跳线层22第二导电层植入于不同的高度,且具备将副RF电极21和跳线层22电导通的导通部30。导通部30为横向放置的线圈或带孔筒状体。
本发明授权晶片载放台在权利要求书中公布了:1.一种晶片载放台,其中,在具有晶片载放面的陶瓷基体的内部,第一导电层和第二导电层植入于不同的高度,且具备将所述第一导电层和所述第二导电层电导通的导通部,所述晶片载放台的特征在于,所述导通部为横向放置的线圈或带孔筒状体,所述第二导电层为俯视与所述第一导电层重复的环状或扇状的导电层,所述导通部的轴线为与所述第二导电层呈同心圆的圆弧状。
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