姜贵民获国家专利权
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龙图腾网获悉姜贵民申请的专利一种电容式芯片结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116222830B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111479319.3,技术领域涉及:G01L1/14;该发明授权一种电容式芯片结构是由姜贵民;杨超设计研发完成,并于2021-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电容式芯片结构在说明书摘要公布了:一种电容式芯片结构属于微机电系统MEMS技术领域,尤其涉及一种电容式芯片结构。本发明提供一种改进型的电容式芯片结构。本发明包括下极板3、中间极板4和上极板6,下极板3与中间极板4之间为下腔体,上极板6与中间极板4之间为上腔体。
本发明授权一种电容式芯片结构在权利要求书中公布了:1.一种电容式芯片结构,包括下极板3、中间极板4和上极板6,下极板3与中间极板4之间为下腔体,上极板6与中间极板4之间为上腔体,其特征在于: 所述上、中、下三个极板均作为可动极板,形成带有可动中间极板的双接触电容式压力敏感芯片,装配成差压压力传感器或者绝对压力传感器;在结构中设置悬空可动的中间极板,外界压力直接作用于下极板,上、下极板均直接感受外界压力,工作过程中两极板与中间极板上的介质层接触,输出两个电容信号; 所述下极板3、中间极板4和上极板6的组合为多组,沿竖向布置;上方组的下极板3为相邻下方组的上极板6;最上方组的上极板6和最下方组的下极板3为感压可动极板;上方组的上极板6、上方组的下极板3和相邻下方组的下极板3接第一极性的电信号,上方组的中间极板4和相邻下方组的中间极板4接第二极性的电信号,第一极性与第二极性相反;形成两个差分电容联成差分电桥;或下极板3、中间极板4和上极板6的组合为多组,沿竖向布置;上方组的中间极板4为相邻下方组的上极板6;上方组的下极板3为相邻下方组的中间极板4;最上方组的上极板6和最下方组的下极板3为感压可动极板;上方组的上极板6、上方组的下极板3接第一极性的电信号,上方组的中间极板4和相邻下方组的下极板3接第二极性的电信号,第一极性与第二极性相反。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人姜贵民,其通讯地址为:110000 辽宁省沈阳市沈河区北京街19-1号(1-19-2);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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