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龙图腾网获悉湖南红太阳光电科技有限公司申请的专利一种极间距可调的PECVD设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116200731B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211732775.9，技术领域涉及：C23C16/509；该发明授权一种极间距可调的PECVD设备是由唐电;曾武杨;彭宜昌;陈臻阳设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种极间距可调的PECVD设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种极间距可调的PECVD设备，包括腔体及腔盖，腔盖铰接于腔体顶部，腔盖内侧设有安装板，安装板底部设有喷淋极板，喷淋极板与安装板之间形成匀流腔，安装板上设有进气装置，腔盖外侧设有射频电源，射频电源通过第一导电元件与进气装置连接，腔体侧壁上设有进出口，腔体内设有加热极板，载板位于喷淋极板与加热极板之间，加热极板下方设有托板，托板上设有支撑杆，支撑杆穿过加热极板用于支撑载板，腔体底部通过三通接口与升降驱动装置安装室连接，三通接口的第三个接口与真空泵连接，升降驱动装置安装室内设有驱动托板升降的第一升降驱动装置及驱动加热极板升降的第二升降驱动装置。本发明具有镀膜均匀性好、增大工艺窗口的优点。

本发明授权一种极间距可调的PECVD设备在权利要求书中公布了：1.一种极间距可调的PECVD设备，包括腔体1及腔盖2，所述腔盖2铰接于腔体1顶部，其特征在于：所述腔盖2内侧设有安装板3，所述安装板3底部设有喷淋极板4，所述喷淋极板4与安装板3之间形成匀流腔5，所述安装板3上设有用于向匀流腔5内喷气的进气装置6，所述腔盖2外侧设有射频电源7，所述射频电源7通过第一导电元件8与进气装置6连接，所述腔体1侧壁上设有用于供载板9进入腔体1内的进出口10，所述腔体1内设有加热极板11，所述载板9位于喷淋极板4与加热极板11之间，所述加热极板11下方设有托板12，所述托板12上设有支撑杆13，所述支撑杆13穿过加热极板11以用于支撑载板9，所述腔体1底部通过三通接口14与升降驱动装置安装室15连接，所述三通接口14的第三个接口与真空泵16连接，所述升降驱动装置安装室15内设有用于驱动托板12升降的第一升降驱动装置17及用于驱动加热极板11升降的第二升降驱动装置18，所述第一升降驱动装置17和第二升降驱动装置18用于实现载板9和加热极板11的自由升降，以调整加热极板11与喷淋极板4之间的间距，所述第一升降驱动装置17和第二升降驱动装置18均穿设于三通接口14。

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