应用材料公司李泰基获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于识别基板上的线缺陷的方法和用于识别基板上的线缺陷的设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116134328B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080104842.5，技术领域涉及：G09G3/00；该发明授权用于识别基板上的线缺陷的方法和用于识别基板上的线缺陷的设备是由李泰基;阿克塞尔·温泽尔设计研发完成，并于2020-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于识别基板上的线缺陷的方法和用于识别基板上的线缺陷的设备在说明书摘要公布了：描述了一种用于识别基板上的线缺陷的方法，该基板具有位于基板上的显示器。所述方法包括：用第一测试确定线缺陷，所述线缺陷具有第一取向；设置用于线重新测试的线测试参数；以及测试沿第一取向被取向的一个或多个第一条带，所述一个或多个第一条带平行于所述线缺陷，所述一个或多个第一条带具有第一维度和第二维度，所述第一维度至少沿带电粒子束装置的视场延伸，并且所述第二维度仅沿所述视场的一部分延伸。
本发明授权用于识别基板上的线缺陷的方法和用于识别基板上的线缺陷的设备在权利要求书中公布了：1.一种用于识别基板上的线缺陷的方法，所述基板具有位于所述基板上的显示器，所述方法包括： 用第一测试确定线缺陷，所述线缺陷具有第一取向； 设置用于线重新测试的线测试参数；以及测试沿第一取向被取向的一个或多个第一条带，所述一个或多个第一条带平行于所述线缺陷，所述一个或多个第一条带具有第一维度和第二维度，所述第一维度至少沿带电粒子束装置的视场延伸，并且所述第二维度仅沿所述视场的一部分延伸。
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