芯三代半导体科技(苏州)有限公司蒲勇获国家专利权
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龙图腾网获悉芯三代半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种用于CVD设备的石墨加热器的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116121734B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310029108.2，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权一种用于CVD设备的石墨加热器的控制方法是由蒲勇;向阳;张勇;贺常乐;施建新设计研发完成，并于2023-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于CVD设备的石墨加热器的控制方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种用于CVD设备的石墨加热器的控制方法。该控制方法包括如下步骤：PLC控制模块的第二运算单元基于接收的第一运算单元传输的第一限制参数并结合上位机下发的第二限制参数及温控仪的温度参数进行运算以得到控制信号，并传输至直流电源，直流电源接收并响应所述控制信号输出控制信号匹配的电压或电流至加热器。该方法针对CVD设备的反应腔中的托盘加热场合，可以提高温度控制精度，得到平滑可控的升降温曲线，提高片内温度均匀性，提高产品质量。
本发明授权一种用于CVD设备的石墨加热器的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种用于CVD设备的石墨加热器的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括如下步骤： PLC控制模块的第二运算单元基于接收的第一运算单元传输的第一限制参数rmax并结合上位机下发的第二限制参数rctl及温控仪的温度参数进行运算以得到控制信号，并传输至直流电源，其中，所述第一限制参数rmax为电压或电流的限定百分比，由PLC控制模块的第一运算单元基于输入的直流电源的控制信号最大值Urang，直流电源额定电压值Umax及加热器的电阻值R运算得到，第二限制参数为温控仪基于反馈的温度段给出匹配对应的升温电压的限制系数rctl，所述限制系数值介于0‑100%，温控仪的温度参数为温控仪基于反馈的温度信息并依据预设的模型输出电压信号Utemp，第二运算单元将第一限制参数rmax、第二限制参数rctl及温控仪的温度参数Utemp基于连乘的方式运算并输出控制信号，直流电源接收并响应所述控制信号输出控制信号匹配的电压或电流至加热器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯三代半导体科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏慕路104号S栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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