应用材料公司米卡尔·R·博杰森获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利具有基于功率的宽限控制的电镀控制器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115956145B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180050411.X,技术领域涉及:G05F1/56;该发明授权具有基于功率的宽限控制的电镀控制器是由米卡尔·R·博杰森设计研发完成,并于2021-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有基于功率的宽限控制的电镀控制器在说明书摘要公布了:一种控制电镀系统的晶体管级的宽限电压以维持跨所述晶体管级的目标功率耗散的方法可以包括针对所述电镀系统中的负载维持所述晶体管级中的宽限电压。所述方法也可以包括:测量所述晶体管级中的瞬时功率耗散;及产生代表所述晶体管级中的所述瞬时功率耗散与所述晶体管级中的所述目标功率耗散之间的差异的差异输出。然后,可以使用所述差异输出来调整跨所述晶体管级及所述负载的电压,使得所述晶体管级中的所述宽限电压被调整以维持所述晶体管级中的所述目标功率耗散。
本发明授权具有基于功率的宽限控制的电镀控制器在权利要求书中公布了:1.一种用于控制电镀系统的晶体管级的宽限电压以维持跨所述晶体管级的目标功率耗散的电路,所述电路包括: 晶体管级,其中所述晶体管级针对电镀系统中的负载提供宽限电压; 功率测量电路,耦接到所述晶体管级,其中所述功率测量电路提供代表所述晶体管级中的瞬时功率耗散的信号; 差分电路,从所述功率测量电路接收代表所述晶体管级中的所述瞬时功率耗散的所述信号并接收代表所述晶体管级中的所述目标功率耗散的信号以产生差异输出;及可调整电压源,提供跨所述晶体管级及所述负载的电压,其中所述可调整电压源被配置为使用所述差异输出来调整所述宽限电压以维持所述晶体管级中的所述目标功率耗散,其中所述晶体管级中的所述宽限电压随着通过所述晶体管级的电流增大而减小。
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